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Barco de oblea de cerámica de carburo de silicio

Semicorex proporciona botes de oblea, pedestales y soportes de oblea personalizados para configuraciones verticales/de columna y horizontales. Hemos sido fabricantes y proveedores de películas de recubrimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestro barco de oblea de cerámica de carburo de silicio tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Barco de oblea de cerámica de carburo de silicio Semicorex, la solución definitiva para la manipulación y protección de obleas en la fabricación de semiconductores.
Nuestro barco de oblea de cerámica de carburo de silicio está hecho de material de alta calidad recubierto con una capa de carburo de silicio (SiC) que utiliza el método CVD, que tiene buena resistencia a la corrosión y excelente resistencia a altas temperaturas y choque térmico. Las cerámicas avanzadas ofrecen una excelente resistencia térmica y durabilidad del plasma al mismo tiempo que mitigan las partículas y los contaminantes para los portadores de obleas de alta capacidad.

Parámetros del barco de oblea de cerámica de carburo de silicio

Propiedades técnicas
Índice	Unidad	Valor
Nombre del material		Carburo de silicio sinterizado de reacción	Carburo de silicio sinterizado sin presión	Carburo de silicio recristalizado
Composición		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidad aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistencia a la flexión	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Fuerza compresiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botón	2700	2800	/
Rompiendo la tenacidad	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conductividad térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansión térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Julios/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima en el aire	℃	1200	1500	1600
Módulo elástico	gpa	360	410	240

La diferencia entre SSiC y RBSiC:

1. El proceso de sinterización es diferente. El RBSiC sirve para infiltrar Si libre en carburo de silicio a baja temperatura, el SSiC se forma por contracción natural a 2100 grados.

2. El SSiC tiene una superficie más lisa, mayor densidad y mayor resistencia; para algunos sellados con requisitos de superficie más estrictos, el SSiC será mejor.

3. Tiempo de uso diferente bajo diferente PH y temperatura, SSiC es más largo que RBSiC

Características de la oblea de cerámica de carburo de silicio

Resistencia al calor superior y uniformidad térmica
Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa
Alta durabilidad frente a limpieza química
El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.

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