Cerámica de carburo de silicioLas paletas generalmente se instalan cerca de la abertura del horno o de la cámara de proceso, con un extremo fijo y el otro extremo extendido hacia el horno o la cámara de proceso. Durante el procesamiento operativo, las paletas cerámicas de carburo de silicio colocan con precisión el portador de obleas que transporta las obleas en la ubicación designada dentro del horno o cámara de proceso. Después del procesamiento, las paletas en voladizo recuperan el transportador, lo sacan del horno o cámara y lo entregan al brazo robótico para la siguiente etapa de manipulación.

Las ventajas de las paletas cerámicas de carburo de silicio Semicorex

1. Propiedades superiores y calidad confiable

Las paletas cerámicas de carburo de silicio Semicorex ofrecen una excelente estabilidad a altas temperaturas, alta resistencia, alta dureza, estabilidad química y bajo coeficiente de expansión térmica. Con estas propiedades superiores, las paletas cerámicas de carburo de silicio Semicorex pueden soportar durante mucho tiempo condiciones operativas desafiantes, como altas temperaturas, corrosión severa, cargas pesadas y operaciones mecánicas frecuentes.

2. Soporte y transporte precisos

Confiando en el excelente rendimiento de soporte y transporte, Semicorexpaletas de cerámica de carburo de siliciopuede fijar con precisión los portadores de obleas en su lugar para garantizar la concentricidad de las obleas en relación con los tubos del horno, lo que reduce significativamente la inconsistencia del proceso causada por la agitación y la desalineación de las obleas durante el proceso.

3. Operación automatizada altamente eficiente

Las paletas cerámicas de carburo de silicio Semicorex normalmente funcionan junto con sistemas robóticos automatizados de carga y manipulación para lograr una carga y descarga rápida de obleas. Esto acorta significativamente los ciclos de proceso en la fabricación de semiconductores y fotovoltaica, mejora la eficiencia de la producción y reduce los costos de operación manual y los riesgos de error.

Las aplicaciones de las paletas cerámicas de carburo de silicio Semicorex

1. Fabricación de células fotovoltaicas

Las paletas cerámicas de carburo de silicio Semicorex se adaptan bien a los procesos térmicos de las células fotovoltaicas, como la difusión, LPCVD y PECVD de las células TOPCon y PERC. Al lograr la uniformidad y estabilidad del proceso, estas paletas contribuyen a la mejora de la eficiencia de conversión de las células fotovoltaicas.

2. Fabricación de chips semiconductores

Como componentes esenciales de soporte y transporte, las paletas cerámicas de carburo de silicio Semicorex se aplican ampliamente en procesos como litografía, grabado y deposición durante la fabricación de chips semiconductores, lo que permite una transferencia constantemente estable y un posicionamiento preciso de las obleas.