Paletas voladizas de cerámica de carburo de silicio

semicorexpaletas voladizas de cerámica de carburo de siliciose producen mediante la sinterización a alta temperatura del cuerpo verde impreso en 3D en un solo paso, seguido del tratamiento de recubrimiento mediante deposición química de vapor. Durante la operación real, los sistemas de automatización mecánica accionan paletas voladizas de cerámica de carburo de silicio para transferir de manera suave y constante los componentes que transportan obleas dentro y fuera de los equipos de procesamiento de alta temperatura (como hornos de oxidación, hornos de difusión, hornos CVD, etc.). Estos componentes de carburo de silicio pueden garantizar eficazmente la precisión de la concentricidad entre las obleas y los tubos del horno, garantizando así la uniformidad y estabilidad del proceso durante procesos críticos como la difusión, la oxidación y la deposición química de vapor.

El rendimiento de las paletas voladizas de cerámica de carburo de silicio Semicorex

1. Rendimiento de baja contaminación:

semicorexcarburo de silicioLas paletas voladizas de cerámica, procesadas con un tratamiento de alta precisión, alcanzan estándares libres de polvo y partículas. Sus matrices tienen un contenido de impurezas estrictamente controlado por debajo de 300 ppm, y el contenido de impurezas del recubrimiento de carburo de silicio CVD es incluso inferior a 5 ppm.

2. Estabilidad a altas temperaturas:

Debido a la excelente resistencia a altas temperaturas y al choque térmico del carburo de silicio, las paletas voladizas cerámicas de carburo de silicio Semicorex pueden mantener de forma prolongada su estabilidad estructural a altas temperaturas de hasta 1250 °C, sin deformarse, ablandarse ni dañarse debido a las altas temperaturas.

3. Capacidad de carga excepcional:

Las paletas voladizas de cerámica de carburo de silicio Semicorex ofrecen una capacidad de carga excepcional y se benefician de su diseño estructural único y de las propiedades superiores de sus materiales (alta resistencia mecánica y dureza). Esta excepcional capacidad de carga les permite soportar el peso de grandes lotes de obleas para satisfacer las necesidades de la producción en masa, lo que mejora efectivamente la eficiencia del procesamiento por lotes de obleas.

4. Notable resistencia a la corrosión:

Las paletas voladizas de cerámica de carburo de silicio Semicorex exhiben una excelente resistencia a la corrosión por oxígeno, cloro y otras sustancias corrosivas presentes a altas temperaturas en los procesos de fabricación de semiconductores y fotovoltaicos. Este rendimiento superior es crucial para garantizar el buen funcionamiento de los procesos de producción evitando las pérdidas y el tiempo causado por daños a las paletas voladizas de cerámica de carburo de silicio.

El método de envasado de las paletas voladizas de cerámica de carburo de silicio Semicorex