Barcos de casete de carburo de silicio

semicorexbarcos de casete de carburo de silicioson los componentes de transporte indispensables, con su estructura estable y de alta resistencia, que sujetan, transfieren y manipulan de forma segura y precisa múltiples obleas semiconductoras. Se utilizan ampliamente en diversos procesos de semiconductores de alta temperatura para garantizar una distribución optimizada del flujo de calor y gas para obtener resultados de procesamiento consistentes.

Materia prima cuidadosamente seleccionada

Fabricados con precisión a partir de polvo de carburo de silicio de grado semiconductor mediante sinterización a alta temperatura, los botes de casete de carburo de silicio Semicorex poseen las siguientes excelentes propiedades.

1. Pureza ultraalta:El contenido de impurezas del sustrato se controla para que esté por debajo de 100 PPM, y el nivel de impurezas decarburo de silicio CVDEl recubrimiento puede alcanzar menos de 1 PPM.

2.Resistencia a la corrosión confiable:La cerámica de carburo de silicio ofrece una fuerte resistencia a la corrosión y es resistente a la corrosión de la mayoría de los ácidos (como el ácido clorhídrico, el ácido sulfúrico y el ácido fluorhídrico), los álcalis (como la soda cáustica), los solventes y los medios oxidantes.

3.Excepcional capacidad de gestión térmica:Con una resistencia térmica excepcional y un bajo coeficiente de expansión térmica, las embarcaciones con casete de carburo de silicio pueden mantener sus propiedades químicas y resistencia mecánica incluso cuando se exponen a condiciones de funcionamiento prolongadas a altas temperaturas de alrededor de 1250 °C.

Estructura diseñada con precisión

1. Estructura de marco horizontal:La estructura de marco horizontal de los botes de cassette de carburo de silicio Semicorex hace que se ajusten perfectamente a los tubos horizontales de hornos de alta temperatura.

2. Muescas de ranura espaciadas uniformemente:Con numerosas muescas de ranura espaciadas uniformemente, los botes de casetes de carburo de silicio Semicorex pueden sujetar firmemente la oblea en su lugar, lo que puede prevenir significativamente los rayones, abrasiones y daños no deseados resultantes del desplazamiento de la oblea, garantizando así de manera efectiva la estabilidad del proceso de semiconductores y el rendimiento de la oblea.

3. Diseño de múltiples ranuras:Las múltiples ranuras diseñadas para transportar múltiples obleas permiten que los botes de casetes de carburo de silicio de Semicorex mejoren el rendimiento del procesamiento de un solo lote y la eficiencia general de la producción.

4. Arquitectura abierta:Los botes de casetes de carburo de silicio Semicorex están equipados con una arquitectura abierta bien pensada, que puede ayudar a lograr una distribución uniforme del gas y un contacto de reacción suficiente, lo que minimiza de manera efectiva los resultados inconsistentes del proceso.