Paletas voladizas de carburo de silicio

Las paletas voladizas de carburo de silicio Semicorex se utilizan normalmente con botes de obleas horizontales en los hornos de procesamiento de alta temperatura. Pueden garantizar una transferencia precisa y fluida de barquillos de obleas dentro y fuera de los tubos del horno, proporcionando un fuerte apoyo a la estabilidad y el rendimiento de la fabricación de semiconductores. Diseñadas específicamente para el tratamiento de obleas a alta temperatura, las paletas voladizas de carburo de silicio Semicorex funcionan de manera constante a alrededor de 1250 °C en una atmósfera de trabajo dura que consiste en oxígeno (gas de reacción), nitrógeno (gas protector) y una pequeña cantidad de cloruro de hidrógeno.

Selección de materiales de alto nivel

Los productos premium se basan en materias primas finas. Semicorex adopta materia prima de carburo de silicio de alta pureza para garantizar que nuestras paletas voladizas de carburo de silicio tengan la mejor calidad en toda la industria. Sus bases están hechas de carburo de silicio unido por reacción de alta calidad con un contenido de impurezas controlado por debajo de 100 ppm y sus superficies están cubiertas con un revestimiento CVD SiC donde las impurezas se mantienen por debajo de 1 ppm. Este material de alto estándar que fabrica las paletas voladizas de carburo de silicio Semicorex ofrece excelentes propiedades que se enumeran a continuación.

1. Limpieza ultraalta:semicorexcarburo de silicioLas paletas voladizas presentan una alta pureza y no liberan impurezas no deseadas durante el funcionamiento, lo que elimina fundamentalmente la contaminación de las obleas y los hornos de procesamiento.

2. Estabilidad térmica estable:Las paletas voladizas de carburo de silicio Semicorex funcionan de manera confiable a 1250 °C y soportan cambios bruscos de temperatura al entrar y salir del horno, sin sufrir deformaciones ni grietas.

3. Resistencia mecánica superior:Las paletas voladizas de carburo de silicio Semicorex cuentan con una alta dureza y resistencia y pueden soportar el desgaste y los rayones durante las operaciones frecuentes de empujar y tirar.

4. Resistencia a la corrosión confiable:semicorexpaletas voladizas de carburo de silicioPuede resistir la corrosión severa causada por álcalis y ácidos fuertes gracias a su notable estabilidad química.

Diseño considerado y mecanizado de precisión.

semicorexutiliza la tecnología de impresión 3D integral para formar paletas en voladizo de carburo de silicio, lo que les permite estar libres de puntos de tensión débiles en las uniones, brindando una capacidad de carga confiable durante la operación. También admite la personalización en dimensiones completas de paletas en voladizo de carburo de silicio. Las paletas en voladizo se pueden adaptar con precisión en longitud, estructura y especificaciones de interfaz y están disponibles para adaptarse perfectamente a los diámetros de los tubos del horno, las dimensiones de las obleas, los sistemas de carga automatizados y los requisitos específicos del proceso.