Botes de carburo de silicio

Los barcos de carburo de silicio semicorex exhiben una estabilidad térmica excepcional, lo que les permite resistir las temperaturas extremas necesarias para los procesos de oxidación y difusión. Su excelente resistencia al choque térmico minimiza el riesgo de grietas o deformación, asegurando la longevidad operativa prolongada. La composición SIC de alta densidad proporciona una resistencia mecánica superior, manteniendo la integridad estructural incluso bajo el ciclo térmico continuo. Esta resistencia excepcional al estrés mecánico reduce la probabilidad de contaminación y rotura de la oblea, lo que contribuye a mayores rendimientos de procesos. Además, los barcos SIC poseen una resistencia química sobresaliente, restantes inerte a los gases de proceso agresivos utilizados en los pasos de oxidación y difusión. Esta característica evita las reacciones no deseadas que podrían comprometer la pureza de las obleas y la eficiencia de producción.

Los barcos de carburo de silicio se utilizan principalmente en hornos de oxidación y difusión, donde el control preciso sobre la exposición de la oblea a altas temperaturas y gases reactivos es esencial. Apoyan las obleas durante la oxidación térmica para cultivar capas de dióxido de silicio de alta calidad y facilitan el dopaje uniforme a través de la exposición controlada a los gases dopantes. Además, proporcionan una plataforma estable para el recocido y otros tratamientos de alta temperatura que requieren exposición prolongada al calor.

En comparación con los barcos tradicionales de cuarzo y grafito, los barcos de carburo de silicio ofrecen una durabilidad inigualable, longevidad y rendimiento. Su capacidad para soportar entornos térmicos y químicos duros, al tiempo que minimiza la contaminación, los convierte en la opción preferida para la fabricación de semiconductores de alta precisión. Con un enfoque en la calidad y la innovación, nuestros barcos de carburo de silicio ofrecen un rendimiento superior, asegurando altos rendimientos y un procesamiento eficiente de obleas para fabricantes de semiconductores en todo el mundo. Ya sea para tecnologías de nodo avanzadas o fabricación de semiconductores heredados, estos barcos proporcionan una solución confiable para cumplir con los estrictos requisitos de la industria.

(1) Carrying y protección: los barcos de carburo de silicio llevan materiales semiconductores, como obleas a través de sus soportes o ranuras internas, y utiliza la alta temperatura y la resistencia a la corrosión de los materiales de carburo de silicio para proteger las obleas del entorno externo.

(2) Calefacción uniforme: el bote de carburo de silicio permite que las obleas dentro se calienten de manera uniforme durante el proceso de tratamiento térmico. Esto ayuda a garantizar que la temperatura y la velocidad de reacción de cada parte de la oblea permanezcan consistentes durante el proceso de tratamiento térmico, mejorando así el rendimiento y la calidad de la oblea.

Actualmente hay tres tipos principales decerámica de carburo de silicioMateriales: sinterización de reacción, sinterización sin presión y sinterización de recristalización. En la mayoría de las aplicaciones, el carburo de silicio sinterizado de reacción es un producto más adecuado y rentable. Los barcos SIC recristalizados generalmente sean sinter y procesan varias partes unitarias primero, luego use la pasta de Si para combinar las piezas en un bote a alta temperatura y finalmente aplique el recubrimiento CVD-SiC (aproximadamente 100um). Dado que la recristalización es porosa, si no hay un recubrimiento SIC, también introducirá los pares en el proceso de semiconductores. Este tipo de bote SIC recristalizado con recubrimiento CVD-SIC tiene el proceso de fabricación más largo y es muy costoso. En comparación con los barcos de grafito recubiertos con SIC, los barcos SIC recristalizados recubiertos con CVD-SIC no tienen ningún problema con el desajuste de CTE.