Barcos de oblea de SiC

Semicorex SiC Wafer Boat, fabricado con cerámica de carburo de silicio (SiC), lidera el camino para satisfacer las demandas de la industria de semiconductores al ofrecer un rendimiento incomparable en entornos de alta temperatura. A medida que la industria de los semiconductores traspasa implacablemente los límites de la microfabricación, la demanda de materiales resistentes y robustos se vuelve primordial.

El SiC Wafer Boat desempeña un papel crucial en la retención y soporte de múltiples obleas durante procesos térmicos como la difusión, la oxidación y la deposición química de vapor (CVD). Estos procesos implican someter las obleas a temperaturas extremadamente altas, que a menudo superan los 1000°C, en una atmósfera controlada. La uniformidad y consistencia de estos tratamientos térmicos son fundamentales para garantizar la calidad y el rendimiento de los dispositivos semiconductores que se fabrican. La capacidad del SiC Wafer Boat para soportar temperaturas tan altas sin deformación ni degradación garantiza que las obleas se procesen de manera uniforme, lo que conduce a un rendimiento y rendimiento superiores del dispositivo.

La excepcional conductividad térmica de las obleas de SiC garantiza una distribución uniforme del calor en todas las obleas, minimizando el riesgo de gradientes de temperatura que podrían provocar defectos en los dispositivos semiconductores. Además, el bajo coeficiente de expansión térmica (CTE) del SiC da como resultado una expansión y contracción térmica mínima durante los ciclos de calentamiento y enfriamiento. Esta estabilidad es crucial para prevenir tensiones mecánicas y posibles daños a las obleas, especialmente con geometrías de dispositivos que se contraen.

Durante los procesos térmicos, las obleas están expuestas a diversos gases reactivos que pueden interactuar con los materiales del barco de la oblea de SiC. La excelente resistencia química del SiC garantiza que no reaccione con estos gases, evitando la contaminación y asegurando la pureza de las obleas. Esto es particularmente crucial en la producción de dispositivos semiconductores avanzados, donde incluso pequeñas cantidades de contaminación pueden provocar defectos y reducir la confiabilidad del dispositivo.