Semicorex proporciona botes de oblea, pedestales y soportes de oblea personalizados para configuraciones verticales/de columna y horizontales. Hemos sido fabricantes y proveedores de películas de recubrimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestro SiC Wafer Boat tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Presentamos nuestro SiC Wafer Boat de alta calidad, diseñado para proporcionar una solución confiable para el procesamiento de obleas en diversas industrias. Estos pedestales cerámicos se fabrican con cerámica de alta pureza, que ofrece una excelente resistencia al choque térmico, la abrasión y la corrosión química, lo que los hace ideales para entornos hostiles de procesamiento de obleas.
Nuestros SiC Wafer Boats también son altamente personalizables y podemos trabajar con usted para crear pedestales personalizados que cumplan con sus especificaciones únicas. Estamos orgullosos de nuestra capacidad para ofrecer productos confiables y de alta calidad que satisfagan las demandas de nuestros clientes. Nuestros botes de oblea de cerámica están hechos para durar y ofrecer una larga vida útil, lo que garantiza que usted obtenga el máximo valor de su inversión.
Realice su pedido ahora y experimente los beneficios de nuestro SiC Wafer Boat de alta calidad en sus operaciones de procesamiento de obleas.
Parámetros del barco de oblea de SiC
Propiedades técnicas |
||||
Índice |
Unidad |
Valor |
||
Nombre del material |
Carburo de silicio sinterizado de reacción |
Carburo de silicio sinterizado sin presión |
Carburo de silicio recristalizado |
|
Composición |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Densidad aparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Resistencia a la flexión |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Fuerza compresiva |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureza |
Botón |
2700 |
2800 |
/ |
Rompiendo la tenacidad |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conductividad térmica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coeficiente de expansión térmica |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calor específico |
Julios/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura máxima en el aire |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Módulo elástico |
gpa |
360 |
410 |
240 |
Características del barco de oblea de SiC
- Recubrimientos CVD de Carburo de Silicio para mejorar la vida útil.
- Aislamiento térmico fabricado en carbono rígido purificado de altas prestaciones.
- Tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.
- Recubrimiento cerámico y de SiC de alta pureza para resistencia a perforaciones y mayor vida útil