Los tubos SIC semicorex son tubos de horno de carburo de silicio diseñados para procesos de alta temperatura de semiconductores, con excelente estabilidad térmica y resistencia a la corrosión química. Elegir materias primas de alta puridad semicorex, procesos de fabricación de precisión y garantías de confiabilidad a largo plazo para proporcionar un soporte sólido para su proceso de fabricación de semiconductores.*
Los tubos SEC semicorex (tubos de horno SIC) son componentes premium muy utilizados en la industria de semiconductores debido a su estabilidad térmica ideal, resistencia mecánica y resistencia extrema a productos químicos agresivos en una variedad de aplicaciones. Se han diseñado tubos SEC semicorex para sobrevivir a las condiciones más duras asociadas con el procesamiento de alta temperatura. Los tubos SIC son claramente un material preferido y superior para hornos de difusión, sistemas LPCVD/PECVD y en entornos utilizados para el crecimiento epitaxial en el que la contaminación del material y el diferencial térmico son consideraciones clave.
Los tubos SEC semicorex se fabrican a partir de polvos SIC de pureza ultra alta que utilizan metodologías de sinterización avanzadas y técnicas de control de procesos que preservan la pureza de la SIC. El resultado es que los tubos SIC tienen una conductividad térmica óptima, baja de expansión térmica y se distribuyen peso a lo largo de la longitud del tubo, minimizando efectivamente el estrés térmico, incluso cuando se expone al ciclo térmico rápido. Por lo tanto, la utilización de tubos SIC proporciona respetos de alto ohat durante los procesos continuos de alta temperatura (hasta 1600 ° C), lo que garantiza la uniformidad en los procesos de fabricación de semiconductores, mejorando la eficiencia general en escalas consistentes.
La principal ventaja de SIC es que es químicamente inerte. SIC es prácticamente no poroso (que cumple con la clasificación ASTM-G654 GP-4) e insuficiente cuando se trata de resistencia de gases corrosivos y productos químicos reactivos utilizados en el desarrollo de semiconductores, incluidos HCL, NH₃, Sih₄, etc. También se observa que los tubos de cuarzo de degradación y deformación con el uso sobre el tiempo en los atmósferos agresivos en el extremo de los tubes SIC estabilidad y aumento del tiempo de servicio al tiempo que minimiza las ralentizaciones de rendimiento relacionadas con los cambios de tubo y los reemplazos. Los beneficios clave para la fabricación de semiconductores son claros; El uso de tubos SIC puede disminuir el costo total de rango de propiedad en semanas o incluso meses mientras se mantiene la confiabilidad en lo que respecta a los procesos industriales.
Los tubos SIC semicorex vienen en muchos diámetros, longitudes y especificaciones personalizadas para acomodar diferentes diseños de hornos y requisitos de procesamiento. Las superficies internas se pueden pulir, lo que mejora la limpieza, reduce la generación de partículas y es un detalle importante en los espacios semiconductores ultra limpios. El uso de tubos SEC semicorex puede ayudar a reducir el riesgo de contaminación y contribuye a aumentar los rendimientos de las obleas con tolerancias estrictas y una mejor calidad de la superficie.
La experiencia semicorex sic incluye años de procesamiento de carburo de silicio con un enfoque en la ingeniería precisa y el control de calidad para cumplir con los rigurosos y exigentes estándares de calidad de la industria de semiconductores. Nuestros tubos se prueban y validan con inspecciones, que son críticas para garantizar la pureza, la densidad y el desempeño dentro de los entornos térmicos más extremos. Semicorex también proporciona soporte técnico y opciones de diseño personalizadas para ayudar a optimizar el sistema de horno para aplicaciones específicas.
Ya sea que fabrican chips lógicos, dispositivos de alimentación u optoelectrónica, los tubos semicorex sic presentan una opción confiable y duradera para el procesamiento de alta temperatura. Al seleccionar semicorex, no solo garantiza una eficiencia, sino también un proceso estable y eficiente a largo plazo para la fabricación de semiconductores.