Tubo de proceso de SiC

El tubo de proceso Semicorex SiC (carburo de silicio) es un componente especializado que se utiliza en procesos de tratamiento térmico de obleas, particularmente en aplicaciones que requieren altas temperaturas, atmósferas corrosivas o ambas. Está diseñado para proporcionar un entorno protector y controlado para obleas semiconductoras durante el tratamiento térmico o el procesamiento térmico.

El tubo de proceso está cuidadosamente diseñado para crear una cámara sellada donde se colocan las obleas para el tratamiento térmico. Actúa como barrera, impidiendo el contacto directo de las obleas con el entorno circundante. Este aislamiento es crucial para mantener la pureza de la atmósfera de procesamiento y proteger las obleas de la contaminación.

Dentro del tubo de proceso de SiC se lleva a cabo el tratamiento térmico de la oblea. Esto puede incluir varios procesos como recocido, oxidación, difusión y otros tratamientos térmicos necesarios para modificar las propiedades del material de la oblea. Las propiedades del tubo, como su alta conductividad térmica y resistencia al ataque químico, ayudan a garantizar una distribución uniforme de la temperatura y la protección de las obleas.

Los tubos de proceso de SiC son componentes críticos en los procesos de tratamiento térmico de obleas. Su resistencia a altas temperaturas, su inercia química y su capacidad para crear un entorno controlado garantizan la ejecución exitosa de los pasos del procesamiento térmico, lo que conduce a la producción de obleas semiconductoras de alta calidad.