Mandriles de desunión de cerámica porosa SIC

Con el avance del procesamiento de semiconductores y la creciente demanda de componentes electrónicos, la aplicación de obleas ultrafinas se ha vuelto cada vez más crítica. Generalmente, las obleas con un espesor inferior a 100 µm se denominan obleas ultrafinas. Sin embargo, cuando las obleas se adelgazan por debajo de 100 μm, presentan una fragilidad significativa y su resistencia mecánica disminuye posteriormente, lo que resulta en un alto riesgo de que las obleas se deformen, se doblen o incluso se rompan. Por esta razón, elegir utilizar mandriles de desunión de cerámica porosa de SiC de Semicorex es una decisión acertada, que puede proporcionar soporte confiable y protección de obleas ultrafinas para lograr una separación segura en el proceso de desunión.

Las ventajas de los mandriles de despegue de cerámica porosa Semicorex SiC

1.Propiedades materiales excepcionales

Con una dureza Mohs de aproximadamente 9,5, SemicorexMandriles de despegue de cerámica porosa de SiCcuentan con una resistencia al desgaste excepcional y pueden soportar a largo plazo repetidas operaciones de adsorción y liberación al vacío con una durabilidad confiable durante el proceso de desunión.

Además, con una conductividad térmica superior, los mandriles de desunión de cerámica porosa Semicorex SiC son ideales para conducir rápidamente el calor, lo que puede prevenir eficazmente el sobrecalentamiento local que puede degradar o dañar las obleas, especialmente adecuados para procesos de desunión a alta temperatura.

2.Estructura cerámica porosa de alto rendimiento.

Fabricado con alta calidadcarburo de silicioEn polvo mediante sinterización a alta temperatura, los mandriles de desunión de cerámica porosa Semicorex SiC tienen numerosos microporos interconectados distribuidos uniformemente en su interior. Con una porosidad del 30 (±5) % y un tamaño de poro controlado con precisión entre 2 y 25 μm, los mandriles de desunión de cerámica porosa de Semicorex SiC pueden garantizar que las obleas ultrafinas se esfuercen uniformemente durante el proceso de desunión, lo que reduce en gran medida los riesgos de deformación y rotura de las obleas.

3.Control preciso de la planitud

Beneficiándose de tecnologías maduras de mecanizado y tratamiento de superficies, los mandriles de desunión de cerámica porosa Semicorex SiC logran un paralelismo controlado por debajo de 0,02 mm y una planitud de doble cara por debajo de 0,02 mm. Esta excelente planitud y paralelismo proporcionan una plataforma de soporte estable y plana para el proceso de desunión de obleas ultrafinas, garantizando efectivamente la precisión y confiabilidad del proceso de desunión.

4.Opciones de dimensiones flexibles

Los mandriles de desunión de cerámica porosa de SiC de Semicorex son adecuados para el tratamiento de obleas de 6 y 8 pulgadas y están disponibles en varias dimensiones estándar, que incluyen 159 mm de diámetro × 0,75 mm de espesor, 200 mm de diámetro × 1 mm de espesor, 204 mm de diámetro × 1,5 mm de espesor.