Tubo de oxidación sic

El tubo de oxidación semicorex sic está construido a partir de cerámica de carburo de silicio de alta pureza diseñada para procesos de oxidación, difusión o recocido típicamente realizados a 1600 ° C. Como parte de un horno SIC, horizontal o vertical, este es el entorno controlado en el que se calientan las obleas mientras se oxidan. La función del tubo de oxidación es proporcionar un entorno limpio, uniforme y estable para el tratamiento térmico de las obleas de carburo de silicio (SIC) en la fabricación de dispositivos de potencia y semiconductores de banda anchos, como apertura del proceso de oxidación de potencial constante, el tubo de oxidación actúa como un uso de uso de primer uso. Mientras que los tubos de cuarzo y alúmina a menudo se encuentran descomponiéndose con el tiempo a través de la devitrificación, la deformación o la descomposición química, el carburo de silicio tiene una durabilidad excepcional contra los desafíos de choque térmico, la mejora de la propiedad mecánica e inercia química. Estos factores producen carburo de silicio como una excelente opción para los tubos de oxidación en entornos de alta fiabilidad y alto rendimiento.

Utilizando formas avanzadas de formación, como la presión isostática fría y la sinterización sin presión (o la recristalización), el semicorex produce tubos de oxidación SIC que tienen una microestructura densa, ajustada y homogénea. Esto proporciona fuerza sin el riesgo de porosidad, lo que permite que el proceso de oxidación continúe sin contaminación. SIC tiene una conductividad térmica muy alta, lo que permite una distribución térmica uniforme a la zona de carga de la oblea y, por lo tanto, reduce los gradientes térmicos que pueden causar obleas o defectos deformados. La resistencia del tubo a los ácidos, las bases y los gases reactivos evitan las interacciones químicas no deseadas con la superficie de la oblea y a través del entorno del horno.

No se arrastra, no se deforma. El tubo no tiene que ser reemplazado después de varios ciclos de producción: se trata de entornos de ciclo térmico a largo plazo que de otro modo destruirían materiales menores. Por lo tanto, ninguna interrupción de alta frecuencia significa bajos costos operativos, y esto mantiene el flujo del proceso sin ninguna interrupción. Esto también reduce los riesgos de contaminación que pueden reducir fácilmente el rendimiento del rendimiento en dispositivos semiconductores de próxima generación donde las impurezas de rastreo juegan un papel fundamental. Semicorex produce dimensiones de tubo estándar y totalmente personalizadas para cualquier plataforma de horno y receta utilizada. El diámetro interno y externo, la longitud, el grosor de la pared y el acabado superficial son todos los parámetros que pueden requerir un ajuste para abordar diferentes necesidades térmicas y mecánicas específicas; Desde hornos de I + D a escala de laboratorio hasta grandes líneas de fabricación, en cada caso donde el tubo necesita mecanizado, limpieza e inspección para garantizar el rendimiento.

El control de calidad comienza con controles dimensionales, pruebas de densidad de material y validación de confiabilidad del ciclo térmico para cada tubo de oxidación de SIC. Un sistema de trazabilidad de material fuerte registra el producto desde su etapa de polvo crudo hasta la inspección final. Ese tipo de calidad brinda a los clientes una mano firme en la estabilidad a largo plazo y la reproducibilidad de nuestros tubos de oxidación SIC.

Elija Semicorex y obtenga un socio en un proveedor que combine la ingeniería de cerámica avanzada con un amplio control de procesos y el soporte técnico receptivo al trabajar juntos desde el principio. Aprendemos sobre su entorno de horno específico, los requisitos de proceso y los desafíos de integración para que podamos ofrecerle soluciones personalizadas mejorando los resultados de su proceso, así como el tiempo de actividad de la herramienta.

El tubo de oxidación semicorex sic ofrece el mejor rendimiento térmico posible con estabilidad química y resistencia mecánica. Se convierte en el corazón de cualquier sistema de procesamiento SIC de alta temperatura al proporcionar un entorno térmico uniforme durante la oxidación y el recocido de materiales semiconductores avanzados. Para los fabricantes que requieren que los componentes del horno sean confiables, limpios y duraderos, el semicorex será una elección de productos respaldada por el conocimiento y la experiencia, así como un estándar de entregar nada menos que lo mejor.