Tubos de horno horizontales SIC

Tubos de horno horizontales SICson los soportes indispensables del sistema de horno, comúnmente ubicados en el área de calentamiento central de la fabricación de semiconductores o equipos de producción fotovoltaica. Trabajan junto con los elementos calefactores, los sistemas de control de temperatura, los sistemas de control de gas y los barcos de oblea para formar el sistema de horno completo.

En la operación real, los tubos de horno horizontales SIC se calientan mediante elementos calefactores, que transfieren uniformemente el calor a los tubos del horno con la ayuda de la excelente conductividad térmica de los materiales de carburo de silicio. Mientras tanto, se introducen en el tubo del horno gases de proceso específicos (como oxígeno, nitrógeno, gases dopantes, etc.). Bajo el efecto de esta atmósfera de gas de alta temperatura, los materiales semiconductores dentro del horno sufrirán reacciones químicas o cambios físicos, logrando en última instancia modificación del material, dopaje u optimización estructural.

Los tubos de horno horizontales SIC de Semicorex ofrecen una resistencia mecánica y una dureza notables, lo que desempeña un papel importante en aplicaciones que implican la manipulación y el procesamiento de obleas de gran volumen. Los tubos de horno horizontales SIC pueden proporcionar soporte estable para obleas en procesos de tratamiento térmico como oxidación, difusión y recocido, asegurando que las obleas estén en la posición correcta durante el procesamiento a alta temperatura y evitando el desplazamiento o la deformación causados ​​por el estrés térmico.

Los tubos de horno horizontales SIC de Semicorex se fabrican con materiales de alta pureza.cerámicas de carburo de siliciocon contenido de impurezas ultrabajo, seguido de la deposición de un CVDrevestimiento de carburo de silicioen su superficie. Este método de fabricación agrega una capa protectora a los tubos de horno horizontales SIC, lo que les permite operar de manera estable en ambientes corrosivos y de alta temperatura exigentes a lo largo del tiempo. Este rendimiento de resistencia a la corrosión de los tubos de horno horizontales SIC mejora la eficiencia de la fabricación de obleas semiconductoras al reducir efectivamente el riesgo de daños a los componentes relacionados con la corrosión y reducir la necesidad de reemplazos y mantenimiento frecuentes.

Con tantas propiedades superiores, los tubos de horno horizontales SIC de Semicorex se utilizan ampliamente en muchos procesos de procesamiento de alta temperatura en las industrias fotovoltaica y de semiconductores, como procesos de oxidación, procesos de difusión, procesos de recocido y deposición química de vapor a baja presión.