Discos de desviación de gas recubiertos de SiC

Semicorex, un excelente ejemplo de materiales avanzados de calidad semiconductora y tecnologías de fabricación de vanguardia,recubierto de SiCLos discos de desviación de gas se fabrican con precisión a partir de grafito de alta pureza y sus matrices con un revestimiento denso de SiC mediante deposición química de vapor. Los discos de desviación de gas están diseñados principalmente para distribuir el gas de reacción de manera uniforme a través de la superficie de la oblea para garantizar reacciones completas durante el procesamiento, facilitando así la formación de películas delgadas monocristalinas consistentes y uniformes.

Las ventajas de los discos desviadores de gas recubiertos de Semicorex SiC

1.Alta pureza del material

Semicorex mantiene estrictos estándares de calidad de productos a partir de una cuidadosa selección de materiales. Gracias a este estricto control de pureza de la materia prima, los discos de desviación de gas recubiertos de Semicorex SiC ofrecen un bajo contenido de impurezas y una limpieza excepcional. Esto puede evitar significativamente que los iones metálicos y otros contaminantes comprometan los procesos epitaxiales de los semiconductores.

2.Estabilidad térmica superior

Se requiere que los componentes utilizados en estos sistemas tengan una estabilidad térmica excepcional porque los equipos epitaxiales semiconductores normalmente funcionan a temperaturas superiores a 1400 °C. Esta excepcional estabilidad térmica puede garantizar que los discos de desviación de gas recubiertos de SiC de Semicorex resistan las desafiantes condiciones operativas de alta temperatura y pueden prevenir eficazmente la liberación de impurezas causada por la alta temperatura durante la operación, lo que ayuda a garantizar la calidad y el rendimiento de las obleas epitaxiales.

3. Notable resistencia a la corrosión a altas temperaturas.

Las matrices de grafito sin protección son propensas a la corrosión y a la generación de partículas, razón por la cual los discos de desviación de gas comúnmente se tratan con un recubrimiento de carburo de silicio para mejorar su resistencia a la corrosión. Cubiertos con una densa capa de SiC, los discos de desviación de gas recubiertos de Semicorex SiC ofrecen una excelente resistencia a la oxidación y a la corrosión química, lo que les permite funcionar de manera constante durante una larga vida útil, incluso en condiciones operativas desafiantes de alta temperatura y corrosivas.

4.Capacidad de personalización flexible

Semicorex está equipado con múltiples equipos de procesamiento avanzados, como equipos de mecanizado CNC, rectificadoras de superficies y equipos de perforación ultrasónica, que ofrecen capacidades de procesamiento experimentadas. Semicorex puede ofrecer servicios de personalización flexibles según los dibujos del cliente y adaptar las dimensiones, tolerancias, planitud de la superficie, diámetros de orificios y espacios entre orificios de los discos de desviación de gas recubiertos de SiC para garantizar una compatibilidad perfecta con los equipos epitaxiales de los clientes.