Mandriles de vacío de cerámica SiC

Los microagujeros diseñados con precisión se distribuyen uniformemente por toda la superficie de los mandriles de vacío cerámicos de SiC, lo que permite una conexión confiable al equipo de vacío externo. Durante el funcionamiento, la bomba de vacío se activa para aspirar aire a través de los orificios, creando un ambiente de presión negativa entre la oblea semiconductora y el mandril de vacío. Por lo tanto, esto permite que la oblea se sujete uniforme y firmemente sobre la superficie del mandril de vacío.

Las ventajas de los mandriles de vacío cerámicos Semicorex SiC

1.Selección de materiales premium

semicorexMandriles de vacío cerámicos de SiCseleccione cuidadosamente carburo de silicio de alta pureza como materia prima. El estricto control de Semicorex sobre la pureza del material previene eficazmente la contaminación de las obleas causada por impurezas durante la operación, satisfaciendo así las crecientes demandas de limpieza y rendimiento de la producción.

2.Precisión de mecanizado fino

La superficie de los mandriles de vacío de cerámica Semicorex SiC se pule a espejo y su planitud se controla entre 0,3 y 0,5 μm. Este control extremo de planitud puede permitir un efecto de contacto óptimo, lo que reduce en gran medida el riesgo de rayones en las obleas causados ​​por superficies de contacto rugosas. Cada microagujero y ranura de los mandriles de vacío están mecanizados con precisión, lo que proporciona un efecto de adsorción estable y uniforme durante el funcionamiento.

3.Servicios de personalización flexibles

Semicorex brinda a nuestros valiosos clientes servicios de personalización, ofreciendo varias opciones de tamaño de mandriles de vacío cerámicos de SiC, como 6 pulgadas, 8 pulgadas y 12 pulgadas. Podemos adaptar las tolerancias dimensionales, el tamaño de los poros, la planitud y la rugosidad para satisfacer los requisitos del cliente, garantizando una combinación perfecta con su equipo de inspección y procesamiento de semiconductores.

4.Excelente durabilidad y vida útil

semicorexCerámica de SiCLos mandriles de vacío se forman mediante prensado isostático y luego se sinterizan a alta temperatura. Después de esta tecnología de procesos especiales, los mandriles de vacío cerámicos de SiC de Semicorex poseen múltiples rendimientos excelentes, como peso ligero, alta rigidez, fuerte resistencia al desgaste y bajo coeficiente de expansión térmica. Estas propiedades permiten que los mandriles de vacío cerámicos de SiC de Semicorex funcionen constantemente en las condiciones desafiantes del manejo y procesamiento de obleas semiconductoras.