Paleta voladiza de cerámica SiC

La paleta voladiza de cerámica SiC de carburo de silicio con gran fuerza de carga de obleas es adecuada para un sistema automático de carga y manipulación de robots porque tiene un rendimiento estable, no se deforma a altas temperaturas y una gran fuerza de carga de obleas. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Dado que la sección de la paleta en voladizo es estable y no se deforma, es posible fabricar oblea de mayor tamaño utilizando los tubos de horno existentes. La paleta voladiza de cerámica de SiC se puede aplicar a LPCVD debido a su coeficiente de expansión térmica similar al del recubrimiento de LPCVD, lo que prolonga en gran medida el ciclo de mantenimiento y limpieza y reduce significativamente los contaminantes.

Podemos producir el producto de acuerdo con sus dibujos y el entorno de trabajo.

Características:

carga grande

Baja conductividad térmica

Resistencia a altas temperaturas