Sic barcos de cerámica

Los barcos de cerámica SEMICOREX SIC son portadores de última generación, especialmente diseñados para transportar, almacenar y procesar obleas semiconductores de forma segura en los entornos más exigentes químicamente y térmicamente extremos. La industria de los semiconductores ha adoptado rápidamente nuevos estándares de rendimiento que han requerido que los botes de cerámica SIC sean de manera confiable, confiable y libre de contaminación, logren las demandas intolerantes y críticas para los procesos modernos de fabricación de obleas.

Fuerte estabilidad térmica y fuerza

El atributo definitorio de los barcos cerámicos SIC es su muy alta estabilidad térmica. Los barcos de cerámica SIC pueden soportar la temperatura de más de 1600 ° C sin perder su forma o estructura durante los procesos agresivos de ciclo térmico. Debido al coeficiente de expansión térmica ultra baja, los barcos de cerámica SIC son menos propensos a la distorsión y el agrietamiento, lo que permite tolerancias estrictas y seguridad general de la oblea durante el manejo en condiciones rígidas.

Alta pureza y resistencia química

Los barcos de cerámica SIC se fabrican con carburo de silicio de pureza ultra alta. Los barcos de cerámica SIC también son altamente resistentes a la degradación química, la corrosiva y el plasma de erosión. La naturaleza inerte de los barcos cerámicos SIC significa procesos de gases corrosivos, entornos reactivos, condiciones ácidas no formarían contaminación del bote o nada soluble para dañar el proceso de trabajo. La superficie no contaminante de los barcos de cerámica SIC no permite que no hay generación de partículas o lixiviación de iones, por lo que una superficie de oblea no está comprometida por impurezas que obstaculizan el rendimiento o el rendimiento del dispositivo.

Ingeniería de precisión para un manejo seguro de obleas

Los botes de cerámica SIC se fabrican dentro de tolerancias estrechas, lo que les permite manejar obleas de varios diámetros, incluidos 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm y más. El diseño estructural de barcos SIC proporciona una excelente planitud, paralelismo y tamaño de ranura uniforme para mantener una orientación adecuada de lapes de obleas y proteger los bordes de la oblea al transferir a otro proceso o herramienta. Todos los barcos SIC se pueden diseñar con dimensiones personalizadas para que coincidan con el conjunto de herramientas o cumplan con cualquier especificación de automatización.

Larga vida útil y más rentable

SIC reemplaza los materiales tradicionales (cuarzo, alúmina) con una resistencia mecánica significativamente mejorada, resistencia a la fractura y resistencia al choque térmico. Este nivel de durabilidad se traduce en una vida útil más larga antes de la "falla", significativamente menos reemplazos durante la operación y un costo total más bajo de propiedad. La consistencia en el rendimiento de la durabilidad de SIC reducirá los tiempos de baja y acelerará el rendimiento en las líneas de fabricación de semiconductores.

Abrir aplicaciones en procesos de semiconductores

Los barcos de cerámica SIC se usan ampliamente en procesos de semiconductores frontales tales como:

LPCVD y deposición de Pecvd

Oxidación térmica

Implantación de iones

Recocido y difusión

Limpieza de obleas y procesamiento químico

Las manijas de cerámica SIC tienen aplicaciones de procesamiento compatibles en cámaras de procesos de atmósfera y vacío, lo que lo convierte en una opción ideal para fundiciones y fabricantes que buscan minimizar y reducir el riesgo de contaminación al tiempo que mejora la productividad.