Sic en voladizo paletas

Las paletas de voladizo SEM de semicorex son componentes de alto rendimiento que están diseñados con precisión para el manejo de obleas y el transporte de obleas en el equipo de procesamiento térmico de semiconductores (LPCVD, PECVD, oxidación y hornos de difusión). Estas paletas en voladizo proporcionan una plataforma para las obleas y una forma necesaria de soporte que garantiza un transporte estable y confiable de obleas frágiles a través de duros procesos de alta temperatura (a menudo superiores a 1200 ° C). Las paletas en voladizo se fabrican a partir de carburo de silicio de alta pureza (SIC) que proporciona durabilidad mecánica, estabilidad térmica y propiedades anticorrosivas para el entorno de fabricación de semiconductores.

El carburo de silicio es un material cerámico súper premium con excelente conductividad térmica, baja expansión térmica y la capacidad de funcionar de manera confiable en entornos químicamente hostiles. El carburo de silicio en las paletas en voladizo puede ayudar a reducir la deformación térmica

 y movimiento que mantiene las obleas planas y en su posición de procesamiento nominal. La estabilidad térmica de la oblea en el contexto de las paletas en voladizo es importante para minimizar los problemas de contaminación de partículas y movimiento mecánico, especialmente cuando se produce dispositivos de nodo avanzados. Estos problemas pueden dar lugar a una pérdida de rendimiento o un reelaboración costosa y el reemplazo de las obleas.

La forma monolítica de las paletas de voladizo SIC mejora la robustez mecánica y la uniformidad térmica al tiempo que elimina las articulaciones y los puntos débiles que típicamente pueden existir en los compuestos. Además, el acabado superficial de las paletas se controla específicamente y generalmente se pule a una calidad de espejo cercana para minimizar la generación de partículas y cumple con la clase de sala limpia.

En procesos de difusión y oxidación que involucran oxígeno, vapor y otros gases reactivos; Los materiales convencionales pueden colapsar o deformarse con el tiempo. La propiedad inherente de inerte químico de SIC asegura que las paletas no superen, o corrovieran e introduzcan la contaminación en el proceso debido al uso de materiales inestables, contribuyendo a un proceso más estable y resultados confiables.  La integridad estructural de las paletas SIC en voladizo permanece estable a pesar del rápido ciclo del calentamiento y el enfriamiento. Por lo tanto, ofrecen una larga vida útil operativa con un mantenimiento muy reducido o un tiempo de inactividad de reemplazo de piezas.

Además, la masa reducida y el peso ligero de las paletas SIC permiten una respuesta térmica más rápida; Permitiendo así los tiempos de aumento térmicos y de enfriamiento más rápidos que contribuyen a una mayor productividad y eficiencia energética, todas las métricas principales en el panorama competitivo de la fabricación de semiconductores.

Las paletas SIC en voladizo se pueden suministrar en una variedad de configuraciones y tamaños, diseñados y fabricados para acomodar varios diseños de hornos y tamaños de obleas que van desde 100 mm a 300 mm y más. Los integradores de OEM y equipos aprecian la consistencia y la confiabilidad de las paletas SIC con el tiempo, para implementaciones en procesos front-end y back-end.

Semicorex ofrece paletas de voladizo SIC premium con control estricto sobre la pureza del material, la microestructura y las tolerancias dimensionales. Nuestras capacidades de proceso avanzadas, junto con nuestro conocimiento de la dinámica térmica de semiconductores, nos permiten producir paletas con estos atributos que cumplen o exceden los estándares de la industria para la estabilidad, la limpieza y la durabilidad. Cuando necesita ser correcto y confiable, el semicorex es el lugar para optar por componentes SIC de calidad.