Barco de SiC

Los barcos Semicorex SiC están meticulosamente elaborados a partir de cerámica SiC de alta pureza, un material famoso por su inigualable estabilidad térmica, excepcional resistencia mecánica e inquebrantable inercia química. Estas cualidades lo convierten en la elección perfecta para las rigurosas condiciones de fabricación de semiconductores.

Los barcos SiC cuentan con una resistencia mecánica y una durabilidad incomparables, debido a la dureza del material y su excepcional resistencia al desgaste. Esto les permite soportar la naturaleza exigente de los entornos de producción de semiconductores de alto rendimiento sin sucumbir al desgaste gradual. A diferencia de otros materiales, el SiC mantiene su integridad estructural a lo largo del tiempo, lo que reduce significativamente la necesidad de reemplazos frecuentes y minimiza el tiempo de inactividad en las operaciones de fabricación, lo que en última instancia genera ahorros sustanciales de costos para los fabricantes de semiconductores.

La inercia química del SiC solidifica aún más su idoneidad para procesos de semiconductores al hacerlo altamente resistente al ataque químico de gases reactivos y materiales de uso común como el cloro y el flúor. Esta robusta resistencia garantiza que los barcos de SiC no contaminen las obleas durante el procesamiento, manteniendo así la pureza y la calidad de los dispositivos semiconductores que se fabrican. Para procesos que exigen un nivel aún mayor de resistencia química, los barcos de SiC se pueden recubrir con una capa adicional de SiC, proporcionando una barrera adicional contra el ataque químico y elevando el acabado de la superficie del barco para disminuir el riesgo de contaminación por partículas.

La alta pureza de la cerámica de SiC utilizada en estos barcos es fundamental, ya que la fabricación de semiconductores exige materiales con impurezas mínimas. Incluso cantidades mínimas de contaminantes pueden afectar las propiedades eléctricas de las obleas y provocar defectos en los dispositivos finales. Los barcos de SiC están diseñados a partir de cerámica de SiC de pureza ultraalta para garantizar que no introduzcan impurezas en el entorno del proceso, incluso en temperaturas elevadas y condiciones reactivas típicas de la fabricación de semiconductores. Esta pureza solidifica la confiabilidad de los barcos SiC para pasos críticos del proceso.

La compatibilidad de los SiC Boats con diversos equipos semiconductores es primordial. La versatilidad del SiC permite mecanizarlo con precisión para adaptarse a las dimensiones y configuraciones específicas requeridas por diferentes tipos de hornos y reactores de semiconductores, lo que los hace adecuados para una amplia gama de aplicaciones, desde operaciones de investigación y desarrollo a pequeña escala hasta líneas de producción a gran escala. Además, las excepcionales propiedades de conductividad térmica y disipación de calor del material contribuyen a un control de temperatura más eficiente durante el procesamiento, mejorando aún más el rendimiento y el rendimiento de los dispositivos semiconductores.