Soportes para botes sic

Los soportes de botes SEC SEMICOREX son dispositivos de soporte de precisión diseñados para contener barcos de obleas durante los procesos de alta temperatura en la fabricación de semiconductores. Hechos de carburo de silicio de alta pureza (SIC), estos soportes exhiben una excelente estabilidad térmica, resistencia química y rigidez mecánica, características esenciales cuando se usan en procesos como difusión, oxidación y crecimiento epitaxial.

Al exigir entornos de fabricación de semiconductores, proteger la integridad de las obleas y minimizar la contaminación es crucial. Los titulares de botes SIC ofrecen una plataforma sólida e inerte que puede tolerar los entornos de hornos extremos mientras mantiene la integridad sin deformación y sin liberación de contaminantes. Su inercia química permite su uso con gases de proceso reactivos, mientras que su transmitancia térmica promueve incluso el calentamiento de la superficie de las obleas para un procesamiento constante.

Cada soporte de botes SIC se fabrica con una alta tolerancia a la precisión dimensional, lo que hace que sean fáciles de acomodar y adaptarse a cualquier tipo de barco de obleas y configuraciones de carga automatizadas. Su estructura rígida no solo crea un soporte fuerte, estable y adecuado para los barcos de obleas, sino que también reduce la posibilidad de que las microvibraciones o los cambios posicionales puedan tener en las obleas. Además, el carburo de silicio tiene una excelente resistencia al desgaste y puede manejar el ciclo de calor repetido para proporcionar una larga vida, lo que resulta en poco tiempo de inactividad y reemplazo de piezas de viales.

Los atributos únicos del carburo de silicio pueden proporcionar beneficios adicionales con respecto a la limpieza del proceso. A diferencia de los metales o los materiales cerámicos de menor grado, el SIC no se desprende, afuera ni se degrada químicamente a temperaturas extremas o en plasma. Esto hace que los soportes de botes SIC sean una gran herramienta para los fabricantes que intentan limitar la contaminación de la sala limpia para nodos semiconductores avanzados que requieren un alto rendimiento y pureza.

Los soportes de botes SEMICOREX SIC se producen utilizando procesos únicos de moldeo y sinterización que garantizan una microestructura uniforme y un rendimiento mecánico entre los lotes y en múltiples soportes de botes. Por ejemplo, se puede personalizar la forma del soporte o la configuración de la ranura, así como el tipo de montaje.

Ya sea que se use en hornos verticales u reactores horizontales, la personalización de los titulares de botes SIC semicorex cumplirá con las tolerancias para el fabricación de semiconductores de próxima generación. Si elige productos semicorex, sabrá que trabajó con un proveedor conocedor, dedicado a la excelencia material y se esfuerza por innovar continuamente componentes cerámicos con respecto a la confiabilidad y entrega.