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Barco de SiC para manipulación de obleas

Barco de SiC para manipulación de obleas

Elaborado a partir de un carburo de silicio de pureza excepcional, el barco Semicorex SiC para manipulación de obleas cuenta con una construcción que incluye ranuras de precisión para asegurar las obleas, mitigando cualquier movimiento durante los procedimientos operativos. La elección del carburo de silicio como material garantiza no sólo dureza y resistencia, sino también la capacidad de soportar temperaturas elevadas y exposición a productos químicos. Esto convierte al SiC Boat for Wafer Handling en un componente fundamental en multitud de etapas de producción de semiconductores, como el cultivo de cristales, la difusión, la implantación de iones y los procesos de grabado.

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Descripción del Producto

Distinguido por su incomparable relación resistencia-peso y propiedades de conducción térmica superiores, el barco Semicorex SiC para manipulación de obleas se somete a un proceso de mejora adicional a través de un recubrimiento CVD SiC. Esta capa de recubrimiento adicional amplifica su resistencia a los rigores de los entornos de procesamiento y lo protege tanto de la degradación química como de las fluctuaciones térmicas, lo que extiende significativamente su vida útil operativa y garantiza un rendimiento constante bajo demandas operativas estrictas.


En operaciones térmicas como recocido o difusión, el barco de SiC para manipulación de obleas es fundamental para lograr una distribución uniforme de la temperatura en la superficie de la oblea. Su excelente conductividad térmica facilita la dispersión efectiva del calor, lo que reduce las disparidades térmicas y promueve la uniformidad en los resultados del proceso.


El barco Semicorex SiC para manipulación de obleas es apreciado por su confiabilidad y rendimiento sobresaliente, cumpliendo con los rigurosos requisitos de la producción de semiconductores contemporánea. Con su adaptabilidad para procesos de obleas individuales y por lotes, el SiC Boat for Wafer Handling se erige como una herramienta esencial para las instalaciones de producción de semiconductores dedicadas a lograr estándares de producto superiores y rendimientos maximizados. El papel del SiC Boat for Wafer Handling es fundamental para mantener ambos la integridad y confiabilidad de las obleas, encontrando una amplia aplicación en equipos de producción de semiconductores, dispositivos industriales y como piezas de repuesto.



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