Manga del eje de SiC

Semicorex proporciona cerámica de calidad semiconductora para sus herramientas de semifabricación OEM y componentes de manipulación de obleas. Hemos sido fabricantes y proveedores de películas de recubrimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestro manguito de eje SiC tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Nuestro manguito de eje de SiC tiene buena resistencia a la corrosión y excelente resistencia a altas temperaturas y choques térmicos. Además, un alto módulo de elasticidad da como resultado una excelente estabilidad dimensional. A esto se suma la nula porosidad y la baja densidad de poros del material cerámico.

Podemos procesar todo tipo de fundas de eje de SiC según los requisitos de los clientes.

Parámetros de la funda del eje de SiC

Propiedades técnicas
Índice	Unidad	Valor
Nombre del material		Carburo de silicio sinterizado de reacción	Carburo de silicio sinterizado sin presión	Carburo de silicio recristalizado
Composición		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidad aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistencia a la flexión	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Fuerza compresiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botón	2700	2800	/
Rompiendo la tenacidad	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conductividad térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansión térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Julios/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima en el aire	℃	1200	1500	1600
Módulo elástico	gpa	360	410	240

Semicorex produjo manguitos de eje de SiC en tres formas: carburo de silicio sinterizado de reacción (RBSiC), carburo de silicio sinterizado sin presión (SSiC) y carburo de silicio recristal (R-SiC).

La diferencia entre SSiC y RBSiC:

1. El proceso de sinterización es diferente. El RBSiC sirve para infiltrar Si libre en carburo de silicio a baja temperatura, el SSiC se forma por contracción natural a 2100 grados.

2. El SSiC tiene una superficie más lisa, mayor densidad y mayor resistencia; para algunos sellados con requisitos de superficie más estrictos, el SSiC será mejor.

3. Tiempo de uso diferente bajo diferente PH y temperatura, SSiC es más largo que RBSiC

Características de la funda del eje SiC

- Alta resistencia (dureza Mohs 9,5, solo superada por el diamante)

- Resistencia a la corrosión por ácidos, álcalis, sales y disolventes orgánicos.

- Alta conductividad térmica, resistencia al plasma, larga vida útil.

- Semiconductores

Formas disponibles de cerámicas de carburo de silicio:

● Varilla de cerámica/pasador de cerámica/émbolo de cerámica

● Tubo cerámico/casquillo cerámico/manguito cerámico

● Anillo cerámico/arandela cerámica/espaciador cerámico

● Disco cerámico

● Placa cerámica/bloque cerámico