Efector final del robot

Semicorex es un fabricante líder independiente de grafito recubierto de carburo de silicio, grafito de alta pureza mecanizado con precisión que se centra en las áreas de fabricación de semiconductores de grafito recubierto de carburo de silicio, cerámica de carburo de silicio y MOCVP. Nuestro efector final robótico tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Robot End Effector es la mano del robot que mueve las obleas semiconductoras entre posiciones en los equipos de procesamiento de obleas y los soportes. El efector final del robot debe ser dimensionalmente preciso y térmicamente estable, además de tener una superficie lisa y resistente a la abrasión para manipular obleas de forma segura sin dañar los dispositivos ni producir contaminación por partículas. Nuestro efector final robótico con recubrimiento de carburo de silicio (SiC) de alta pureza proporciona una resistencia al calor superior, uniformidad térmica uniforme para un espesor y una resistencia constantes de la capa Epi, y una resistencia química duradera.

Parámetros del efector final del robot

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300