Poroso sic fuck

Semicorex poroso Sic Chuck es una parte cerámica que se ha ensamblado con precisión para el manejo seguro y eficiente de sustratos de obleas para aplicaciones de semiconductores a través de pasos de proceso como inspección, pruebas y litografía. El Chuck se fabrica de cerámica de carburo de silicio microporoso (SIC). SIC tiene resistencia mecánica, resistencia química y propiedades de estabilidad térmica necesarias para entornos de fabricación de semiconductores de vanguardia.

Una característica esencial del chuck poroso Sic es su microestructura única, que exhibe una porosidad del 35%-40%. Con la porosidad del chuck firmemente controlado, el diseño suprayacente permite que la succión del vacío se dispense uniformemente a través del fuck que genere un soporte constante estable y sin contacto para sustratos de obleas típicamente delicados: silicio o gangly, y otros semiconductores compuestos.  El modo de succión al vacío evita tanto la contaminación de las partículas como el daño mecánico, preservando así la integridad de la oblea durante el proceso.

El cuerpo cerámico del chuck es principalmente de alta pureza SIC, con otras cerámicas, como la alúmina (AL2O3), potencialmente utilizada para un número limitado de capas funcionales que dependen de la aplicación. La investigación y el desarrollo del material permiten que el tamaño y la distribución del poro se gestionen para diseñar el flujo de aire y la fuerza de retención dependiendo de los tamaños de obleas y las condiciones del proceso. Si es importante controlar el vacío en obleas más delgadas, se incorporará un tamaño de poro más pequeño. Para tasas de flujo más rápidas cuando sea apropiado, se utilizará el tamaño de poro más grande.

Los chucks de SiC poros exhiben variación de color como resultado de los tamaños de poros variables, las composiciones cerámicas y las condiciones de disparo. Los chucks Sic tienden a ser negros o gris oscuro, ya que el color del carburo de silicio es gris o negro, sin embargo, los chucks con contenido de alúmina grande tienden a ser de color blanco. Las variaciones en el color no tienen ningún efecto en el rendimiento del producto y solo representan las propiedades de ingeniería que se crearon para aplicaciones específicas para cumplir con las necesidades específicas del cliente.

En las herramientas de procesamiento de obleas de alta gama, la estabilidad térmica y la inercia química son las dos características más importantes. El carburo de silicio proporciona una excelente resistencia a los gases de corrosión y al ciclo térmico. El Cuck Sic poroso opera con éxito en cámaras de vacío y herramientas de grabado en plasma, y continúa funcionando bien con temperaturas que cambian rápidamente. Su capacidad para mantener la estabilidad de la dimensión del Chuck asegura que la oblea permanezca en la misma ubicación, a pesar de que los requisitos de precisión pueden estar por debajo de la submicrona dependiendo del proceso que contribuya al estabilizado dimensional garantiza la precisión.

Los chucks de SiC poros semicorex se realizan utilizando procedimientos de formación y sinterización autorizados que proporcionan porosidad uniforme, alta resistencia a la flexión y baja expansión térmica. Cada Chuck se inspecciona para obtener la estructura de los poros, la planitud y el rendimiento del vacío para garantizar un producto confiable y repetible. Los diseños personalizados también están disponibles para acomodar tamaños de obleas específicos y requisitos de integración del sistema, como canales de flujo de gas del lado trasero o características de montaje.

En conclusión, el Cuck Sic poroso es un sistema de soporte de sustrato de alta confiabilidad que ha sido cuidadosamente diseñado para trabajar junto con los requisitos para el procesamiento de obleas de precisión. Con una alta capacidad de retención de vacío, una estructura de poros personalizable y una estabilidad del material sobresaliente, es un producto indispensable en las líneas de fabricación de semiconductores actuales.