Disco planetario

Planetary Disk, un revolucionario portador de obleas y susceptor diseñado para procesos de epitaxia de haz molecular (MBE) dentro de hornos de deposición química de vapor metal-orgánico (MOCVD). Elaborado con materiales de alta calidad, el disco planetario está diseñado para llevar la fabricación de semiconductores a nuevas alturas.

El disco planetario está meticulosamente elaborado con grafito recubierto de CVD SiC, lo que garantiza una estabilidad térmica excepcional, alta pureza y resistencia a temperaturas extremas. Esta avanzada composición de materiales garantiza un rendimiento y una longevidad superiores en entornos MOCVD exigentes.

El recubrimiento CVD SiC sobre el sustrato de grafito mejora la conductividad térmica, promoviendo una transferencia de calor eficiente durante el proceso MOCVD. Esta característica no solo garantiza perfiles de temperatura consistentes en toda la oblea, sino que también contribuye a reducir el estrés térmico y mejorar el rendimiento general.

El disco planetario está personalizado y es compatible con una amplia gama de tamaños de obleas semiconductoras, lo que lo convierte en una solución versátil para diversos requisitos de producción. Construido para soportar las rigurosas demandas de los hornos MOCVD, el disco planetario exhibe una durabilidad y confiabilidad excepcionales. Su construcción robusta garantiza un rendimiento duradero, lo que reduce el tiempo de inactividad y los costos de mantenimiento asociados con los portadores de obleas y los susceptores.