Hay dos tipos de epitaxia: homogénea y heterogénea. Para producir dispositivos de SiC con resistencia específica y otros parámetros para diferentes aplicaciones, el sustrato debe cumplir las condiciones de epitaxia antes de que pueda comenzar la producción. La calidad de la epitaxia afecta el rendim......
Leer másEn la fabricación de semiconductores, el grabado es uno de los pasos principales, junto con la fotolitografía y la deposición de películas delgadas. Implica eliminar materiales no deseados de la superficie de una oblea mediante métodos químicos o físicos. Este paso se lleva a cabo después del recubr......
Leer másEl sustrato de SiC puede tener defectos microscópicos, como dislocación del tornillo roscado (TSD), dislocación del borde roscado (TED), dislocación del plano base (BPD) y otros. Estos defectos son causados por desviaciones en la disposición de los átomos a nivel atómico.
Leer másEl sustrato de SiC puede tener defectos microscópicos, como dislocación del tornillo roscado (TSD), dislocación del borde roscado (TED), dislocación del plano base (BPD) y otros. Estos defectos son causados por desviaciones en la disposición de los átomos a nivel atómico. Los cristales de SiC tamb......
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