Anillos de entrada MOCVD

Semicorex es un fabricante y proveedor a gran escala de grafito recubierto de carburo de silicio en China. Nuestros anillos de entrada MOCVD tienen una buena ventaja de precio y cubren muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo.

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Descripción del Producto

Semicorex suministra anillos de entrada MOCVD utilizados en la deposición y el procesamiento de obleas, que son realmente estables para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos. Nuestros anillos de entrada MOCVD tienen una construcción de grafito recubierto de carburo de silicio (SiC) de alta pureza, que proporciona una resistencia al calor superior, uniformidad térmica uniforme para un espesor y resistencia consistentes de la capa Epi, y una resistencia química duradera. El fino recubrimiento de cristal de SiC proporciona una superficie limpia y lisa, fundamental para la manipulación, ya que las obleas prístinas entran en contacto con el susceptor en muchos puntos de toda su área.

En Semicorex, nos enfocamos en brindar anillos de entrada MOCVD rentables y de alta calidad, priorizamos la satisfacción del cliente y brindamos soluciones rentables. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo, ofreciéndole productos de alta calidad y un servicio al cliente excepcional.

Parámetros de los anillos de entrada MOCVD

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	μm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300