Sistema de reactor de epitaxia en fase líquida (LPE)

Nuestro sistema de reactor de epitaxia en fase líquida (LPE) es un producto altamente confiable y duradero que ofrece una excelente relación calidad-precio. Su resistencia a la oxidación a alta temperatura, su perfil térmico uniforme y su prevención de la contaminación lo hacen ideal para el crecimiento de la capa epitaxial de alta calidad. Sus bajos requisitos de mantenimiento y su capacidad de personalización lo convierten en un producto altamente competitivo en el mercado.

En Semicorex, nos enfocamos en brindar productos rentables y de alta calidad a nuestros clientes. Nuestro sistema de reactor de epitaxia en fase líquida (LPE) tiene una ventaja de precio y se exporta a muchos mercados europeos y americanos. Nuestro objetivo es ser su socio a largo plazo, brindando productos de calidad constante y un servicio al cliente excepcional.

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Parámetros del sistema de reactor de epitaxia en fase líquida (LPE)

Características del sistema de reactor de epitaxia en fase líquida (LPE)

- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen buena densidad y pueden desempeñar un buen papel protector en entornos de trabajo corrosivos y de alta temperatura.

- El susceptor recubierto de carburo de silicio utilizado para el crecimiento de monocristales tiene una superficie muy plana.

- Reducir la diferencia en el coeficiente de expansión térmica entre el sustrato de grafito y la capa de carburo de silicio, mejorar efectivamente la fuerza de unión para evitar grietas y delaminación.

- Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución del calor.

- Alto punto de fusión, resistencia a la oxidación a altas temperaturas, resistencia a la corrosión.