Barcos horizontales de carburo de silicio

Semicorex horizontalbarcos de carburo de siliciose forman integralmente utilizando tecnología de impresión 3D y luego se fabrican mediante sinterización a alta temperatura. Estos componentes, diseñados específicamente para adaptarse a diversos tamaños de hornos horizontales de alta temperatura, se aplican ampliamente para asegurar firmemente la retención de obleas en procesos críticos de fabricación de semiconductores de alta temperatura, incluida la difusión, la oxidación y la deposición química de vapor.

Propiedades fisicoquímicas del carburo de silicio

Las ventajas del barco horizontal de carburo de silicio Semicorex.s

1.Soporte y posición estables

La resistencia y dureza incomparables del material otorgan a las embarcaciones horizontales de carburo de silicio de Semicorex una excelente capacidad de soporte, lo que les permite transportar de manera estable múltiples obleas simultáneamente. A través del mecanizado de ranuras de precisión, las embarcaciones horizontales de carburo de silicio de Semicorex pueden fijar firmemente y sujetar de forma segura obleas semiconductoras. La estructura de ranuras espaciadas uniformemente garantiza que las obleas mantengan una posición fija durante todo el ciclo de procesamiento, garantizando así la consistencia y precisión de los procesos de fabricación de semiconductores.

2.Compatibilidad con condiciones operativas complejas

Gracias a su resistencia superior a las altas temperaturas y a la corrosión, las embarcaciones horizontales de carburo de silicio Semicorex son capaces de soportar entornos operativos rigurosos, como atmósferas de oxígeno, nitrógeno o cloruro de hidrógeno de baja concentración a alta temperatura. Estas propiedades excepcionales del material pueden prevenir eficazmente la corrosión y los daños causados ​​por gases corrosivos a alta temperatura, lo que prolonga en gran medida la vida útil operativa de las embarcaciones.

3. Rendimiento de limpieza excepcional

A diferencia de los botes de grafito recubiertos de carburo de silicio convencionales, los botes de carburo de silicio horizontales Semicorex están fabricados con materiales de alta pureza y grado semiconductor.carburo de silicio(99,999%) con contenido de impurezas ultrabajo. Esta selección de materiales de primera calidad elimina el riesgo de desgasificación de contaminantes o de desprendimiento del recubrimiento, incluso cuando se expone a altas temperaturas y ambientes corrosivos severos. Además, cada uno de nuestros botes de carburo de silicio es sometido a rigurosos procesos de limpieza ultrasónica antes del envasado al vacío, lo que garantiza el cumplimiento de los estándares de limpieza requeridos por los procesos avanzados de fabricación de semiconductores.