Horizontal horno de cámara sic barcos

El horno de cámara horizontal semicorex es una parte altamente diseñada que contiene y transporta obleas o sustratos mientras están sujetos a procesamiento térmico de alta temperatura en un horno de cámara horizontal. El bote de obleas está hecho de sic de alta pureza unida carburo de silicio (sic), que proporciona la combinación única de resistencia, estabilidad térmica y alta resistencia química que se exigen en los procesos de cerámica semiconductores, fotovoltaicos y avanzados. El barco de obleas también actúa como una estructura rígida para mantener las obleas en posición, la estabilidad dimensional y la precisión de las obleas no se perderán por exposición extendida a las temperaturas extremas del proceso.

Las propiedades superiores del carburo de silicio proporcionan el horno horizontal del horno SIC una ventaja de rendimiento superior en comparación con los materiales típicos para barcos de obleas como cuarzo o alúmina. Pueden resistir mejor los ciclos de calentamiento y enfriamiento de corta duración poco frecuente debido a su alto punto de fusión, resistencia al choque térmico y resistencia mecánica, independientemente de la velocidad de calentamiento y enfriamiento o extremos del ciclo térmico. Dado que un horno horizontal se basa completamente en la consistencia de las posiciones de las obleas y la exposición de las condiciones del proceso, la alineación adecuada de las obleas proporciona un rendimiento constante del proceso y la repetibilidad. El bajo coeficiente de expansión térmica significa que el bote no se distorsionará sobre su vida y proporcionará forma y espaciado retenidos de las obleas.

La estructura densa y de grano fino de la SiC recristalizada proporciona una notable resistencia a la oxidación, la corrosión y la contaminación por gases de proceso y subproductos. Esto hace que el bote sea especialmente ventajoso para los procesos en atmósferas agresivas como la difusión, la oxidación, el LPCVD y el recocido. La alta inercia química de SIC evita las reacciones con las superficies de la oblea, preservando así la pureza del producto y minimizando la generación de partículas en el horno. Los barcos SIC pueden ayudar a los fabricantes que necesitan satisfacer las estrictas demandas de limpieza, proporcionando entornos de procesamiento más limpios y una mejor calidad de obleas.

Estos barcos se pueden producir con varias geometrías complejas y dimensiones específicas de piezas con técnicas de mecanizado y formación de precisión. Los diseños generalmente usan múltiples ranuras/ranuras paralelas para sostener las obleas de forma segura en una orientación horizontal y exponer uniformemente toda la superficie de la oblea a las condiciones térmicas. El espaciado y los ángulos de ranura a ranura también se pueden optimizar para adaptarse a las obleas de otros diámetros, como 150 mm, 200 mm o 300 mm, y el flujo de aire directo durante los efectos de procesamiento al tiempo que logran la uniformidad de temperatura para el procesamiento.

Los botes SIC horizontales no solo pueden diseñarse en salidas estándar, sino que pueden diseñarse para funcionar con cargadores de obleas automatizados, lo que resulta en una integración perfecta en las modernas líneas de producción de alto rendimiento. El diseño robusto también hará que los barcos sean menos propensos a chipear o romper durante el manejo y reducir el tiempo de inactividad y los costos de reemplazos.

La conductividad térmica decarburo de silicioRepresenta otra ventaja clave que facilita la transferencia de calor eficiente entre las obleas y el entorno del horno. La ventaja es que los fabricantes pueden lograr condiciones de procesamiento más uniformes y acortar los tiempos del ciclo, lo que puede aumentar la eficiencia de producción. Los barcos SIC proporcionan resultados consistentes y repetibles si se utilizan para la fabricación de obleas de semiconductores, fabricación de células solares u otro procesamiento de materiales avanzados a temperaturas elevadas.

En resumen, los botes SIC horizontales del horno de cámara son un componente clave para los fabricantes que buscan producir obleas con un portador de obleas de alto rendimiento, duradero y resistente a la contaminación. Tiene una resistencia mecánica, estabilidad térmica e inercia química que está inigualable en las aplicaciones horizontales de hornos. Al elegir barcos de carburo de silicio, los operadores pueden aprovechar un mejor control de procesos, mayores rendimientos y minimizar las interrupciones operativas debido al mantenimiento. En general, proporciona producciones más eficientes y rentables.