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Anillo de entrada de gas para equipos semiconductores

Semicorex es un fabricante y proveedor a gran escala de susceptor de grafito recubierto de carburo de silicio en China. Nos centramos en industrias de semiconductores como las capas de carburo de silicio y los semiconductores epitaxia. Nuestro anillo de entrada de gas para equipos semiconductores tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

El anillo de entrada de gas Semicorex para equipos semiconductores está recubierto de SiC, que es un recubrimiento denso y resistente al desgaste de carburo de silicio (SiC). Tiene altas propiedades de resistencia a la corrosión y al calor, así como una excelente conductividad térmica. Aplicamos SiC en capas finas sobre el grafito mediante el proceso de deposición química de vapor (CVD).

Nuestro anillo de entrada de gas para equipos semiconductores está diseñado para lograr el mejor patrón de flujo laminar de gas, asegurando la uniformidad del perfil térmico. Esto ayuda a prevenir cualquier contaminación o difusión de impurezas, asegurando un crecimiento epitaxial de alta calidad en el chip de la oblea.

Contáctenos hoy para obtener más información sobre nuestro anillo de entrada de gas para equipos semiconductores.

Parámetros del anillo de entrada de gas para equipos semiconductores

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300

Características del anillo de entrada de gas para equipos semiconductores

● Grafito recubierto de SiC de alta pureza

● Resistencia al calor y uniformidad térmica superiores

● Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa

● Alta durabilidad frente a limpieza química.

● El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.

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