Barco de oblea epitaxial

Semicorex proporciona botes de oblea, pedestales y soportes de oblea personalizados para configuraciones verticales/de columna y horizontales. Hemos sido fabricantes y proveedores de películas de recubrimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestro Epitaxial Wafer Boat tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Semicorex Epitaxial Wafer Boat, la solución perfecta para el procesamiento de obleas en la fabricación de semiconductores. Nuestros barcos de oblea epitaxiales están fabricados con cerámica de carburo de silicio (SiC) de alta calidad que proporciona una resistencia superior a las altas temperaturas y la corrosión química.
Nuestro barco de oblea epitaxial de carburo de silicio tiene una superficie lisa que minimiza la generación de partículas, lo que garantiza el más alto nivel de pureza para sus productos. Con una excelente conductividad térmica y una resistencia mecánica superior, nuestras embarcaciones brindan resultados consistentes y confiables.
Nuestros botes de obleas epitaxiales son compatibles con todos los equipos de procesamiento de obleas estándar y pueden soportar temperaturas de hasta 1600 °C. Son fáciles de manejar y limpiar, lo que los convierte en una opción rentable y eficiente para sus necesidades de fabricación.
Nuestro equipo de expertos está comprometido a brindar la mejor calidad y servicio. Ofrecemos diseños personalizados para satisfacer sus requisitos específicos y nuestros productos están respaldados por nuestro programa de garantía de calidad.

Parámetros del barco de oblea epitaxial

Propiedades técnicas
Índice	Unidad	Valor
Nombre del material		Carburo de silicio sinterizado de reacción	Carburo de silicio sinterizado sin presión	Carburo de silicio recristalizado
Composición		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidad aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistencia a la flexión	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Fuerza compresiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botón	2700	2800	/
Rompiendo la tenacidad	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conductividad térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansión térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Julios/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima en el aire	℃	1200	1500	1600
Módulo elástico	gpa	360	410	240

La diferencia entre SSiC y RBSiC:

1. El proceso de sinterización es diferente. El RBSiC sirve para infiltrar Si libre en carburo de silicio a baja temperatura, el SSiC se forma por contracción natural a 2100 grados.

2. El SSiC tiene una superficie más lisa, mayor densidad y mayor resistencia; para algunos sellados con requisitos de superficie más estrictos, el SSiC será mejor.

3. Tiempo de uso diferente bajo diferente PH y temperatura, SSiC es más largo que RBSiC

Características del barco de oblea epitaxial de carburo de silicio

SiC de alta pureza recubierto por MOCVD
Resistencia al calor superior y uniformidad térmica
Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa
Alta durabilidad frente a limpieza química
El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.