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Efector final para manipulación de obleas

Efector final para manipulación de obleas

Los efectores finales Semicorex para manipulación de obleas son dimensionalmente precisos y térmicamente estables para el procesamiento de obleas. Hemos sido fabricantes y proveedores de elementos de recubrimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestros productos tienen una buena ventaja de precio y cubren la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Los efectores finales Semicorex para manipulación de obleas son dimensionalmente precisos y térmicamente estables, a la vez que tienen una película de recubrimiento CVD SiC suave y resistente a la abrasión para manipular obleas de forma segura sin dañar los dispositivos ni producir contaminación por partículas, que pueden mover obleas semiconductoras entre posiciones en equipos y soportes de procesamiento de obleas. precisa y eficientemente. Nuestro efector final con revestimiento de carburo de silicio (SiC) de alta pureza para manipulación de obleas proporciona una resistencia al calor superior, uniformidad térmica uniforme para un espesor y una resistencia constantes de la capa epi, y una resistencia química duradera.

En Semicorex, nos enfocamos en brindar productos rentables y de alta calidad a nuestros clientes. Nuestro efector final para manipulación de obleas tiene una ventaja de precio y se exporta a muchos mercados europeos y americanos. Nuestro objetivo es ser su socio a largo plazo, brindando productos de calidad constante y un servicio al cliente excepcional.


Parámetros del efector final para el manejo de obleas

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC

Propiedades de SiC-CVD

Estructura cristalina

Fase β de la FCC

Densidad

gramos/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamaño de grano

µm

2~10

Pureza química

%

99.99995

Capacidad calorífica

J kg-1 K-1

640

Temperatura de sublimación

2700

Fuerza flexural

MPa (RT 4 puntos)

415

Módulo de Young

Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)

430

Expansión Térmica (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Conductividad térmica

(W/mK)

300


Características del efector final para manipulación de obleas

Recubrimiento de SiC de alta pureza utilizado método CVD

Resistencia al calor superior y uniformidad térmica

Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa

Alta durabilidad frente a limpieza química

El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.




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