Los efectores finales Semicorex para manipulación de obleas son dimensionalmente precisos y térmicamente estables para el procesamiento de obleas. Hemos sido fabricantes y proveedores de elementos de recubrimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestros productos tienen una buena ventaja de precio y cubren la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Los efectores finales Semicorex para manipulación de obleas son dimensionalmente precisos y térmicamente estables, a la vez que tienen una película de recubrimiento CVD SiC suave y resistente a la abrasión para manipular obleas de forma segura sin dañar los dispositivos ni producir contaminación por partículas, que pueden mover obleas semiconductoras entre posiciones en equipos y soportes de procesamiento de obleas. precisa y eficientemente. Nuestro efector final con revestimiento de carburo de silicio (SiC) de alta pureza para manipulación de obleas proporciona una resistencia al calor superior, uniformidad térmica uniforme para un espesor y una resistencia constantes de la capa epi, y una resistencia química duradera.
En Semicorex, nos enfocamos en brindar productos rentables y de alta calidad a nuestros clientes. Nuestro efector final para manipulación de obleas tiene una ventaja de precio y se exporta a muchos mercados europeos y americanos. Nuestro objetivo es ser su socio a largo plazo, brindando productos de calidad constante y un servicio al cliente excepcional.
Parámetros del efector final para el manejo de obleas
Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC |
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Propiedades de SiC-CVD |
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Estructura cristalina |
Fase β de la FCC |
|
Densidad |
gramos/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Tamaño de grano |
µm |
2~10 |
Pureza química |
% |
99.99995 |
Capacidad calorífica |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de sublimación |
℃ |
2700 |
Fuerza flexural |
MPa (RT 4 puntos) |
415 |
Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) |
430 |
Expansión Térmica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Conductividad térmica |
(W/mK) |
300 |
Características del efector final para manipulación de obleas
Recubrimiento de SiC de alta pureza utilizado método CVD
Resistencia al calor superior y uniformidad térmica
Fino revestimiento de cristal de SiC para una superficie lisa
Alta durabilidad frente a limpieza química
El material está diseñado para que no se produzcan grietas ni delaminación.