Tubo de horno de difusión

El tubo del horno de difusión suele estar hecho de cuarzo de alta pureza o SiC, los cuales exhiben una estabilidad térmica y resistencia a reacciones químicas excepcionales. Esto es importante porque el tubo del horno de difusión no debe introducir impurezas en los materiales semiconductores que se procesan. Incluso las impurezas más pequeñas pueden tener efectos perjudiciales importantes sobre el rendimiento y la fiabilidad de los dispositivos semiconductores fabricados.

Los materiales utilizados en la construcción del tubo del horno de difusión se eligen por su alta pureza para evitar la contaminación de las obleas semiconductoras durante el procesamiento. El tubo del horno de difusión soporta temperaturas extremas encontradas durante el procesamiento de semiconductores sin deformar ni comprometer su integridad estructural. Esto garantiza un rendimiento consistente y confiable durante períodos prolongados de operación. Además de la estabilidad térmica, el tubo del horno de difusión también presenta resistencia a los efectos corrosivos de los productos químicos y gases utilizados en el procesamiento de semiconductores. Esto evita la degradación del tubo con el tiempo y garantiza la longevidad.

Algunos tubos de hornos de difusión pueden tener revestimientos fabricados con materiales especializados para mejorar aún más su rendimiento o brindar protección adicional contra la contaminación o reacciones químicas. Estos revestimientos se seleccionan cuidadosamente para complementar las propiedades del material del tubo y los requisitos específicos del proceso de fabricación de semiconductores.