Barco de oblea por lotes

Semicorex proporciona botes de oblea, pedestales y soportes de oblea personalizados para configuraciones verticales/de columna y horizontales. Hemos sido fabricantes y proveedores de películas de recubrimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestro Batch Wafer Boat tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Semicorex Batch Wafer Boat está fabricado con material cerámico de carburo de silicio de alta calidad para una resistencia química y estabilidad térmica superiores.
Nuestro Batch Wafer Boat tiene un acabado superficial liso y proporciona un excelente soporte y protección para las obleas durante el procesamiento. El recubrimiento de SiC garantiza uniformidad y estabilidad durante el procesamiento, protegiendo las obleas de la contaminación y los daños. Con una excelente conductividad térmica y una resistencia mecánica superior, nuestros soportes para obleas brindan resultados consistentes y confiables.
Nuestro equipo de expertos está comprometido a brindar la mejor calidad y servicio. Ofrecemos diseños personalizados para satisfacer sus requisitos específicos y nuestros botes de obleas por lotes están respaldados por nuestro programa de garantía de calidad.

Parámetros del barco de oblea por lotes

Propiedades técnicas
Índice	Unidad	Valor
Nombre del material		Carburo de silicio sinterizado de reacción	Carburo de silicio sinterizado sin presión	Carburo de silicio recristalizado
Composición		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densidad aparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistencia a la flexión	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Fuerza compresiva	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Dureza	Botón	2700	2800	/
Rompiendo la tenacidad	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conductividad térmica	W/m.k	95	120	23
Coeficiente de expansión térmica	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Calor específico	Julios/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura máxima en el aire	℃	1200	1500	1600
Módulo elástico	gpa	360	410	240

La diferencia entre SSiC y RBSiC:

1. El proceso de sinterización es diferente. El RBSiC sirve para infiltrar Si libre en carburo de silicio a baja temperatura, el SSiC se forma por contracción natural a 2100 grados.

2. El SSiC tiene una superficie más lisa, mayor densidad y mayor resistencia; para algunos sellados con requisitos de superficie más estrictos, el SSiC será mejor.

3. Tiempo de uso diferente bajo diferente PH y temperatura, SSiC es más largo que RBSiC

Características del barco de oblea por lotes

- Alta resistencia (dureza Mohs 9,5, solo superada por el diamante)
- Resistencia a la corrosión por ácidos, álcalis, sales y disolventes orgánicos.
- Alta conductividad térmica, resistencia al plasma, larga vida útil.
- Semiconductores