Bandeja de grafito recubierta de SiC

La bandeja de grafito recubierta de SiC es una pieza semiconductora de vanguardia que brinda a los sustratos de Si un control preciso de la temperatura y un soporte estable durante el proceso de crecimiento epitaxial del silicio. Semicorex siempre da la máxima prioridad a la demanda de los clientes, brindándoles las soluciones de componentes centrales necesarias para la producción de semiconductores de alta calidad.

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Descripción del Producto

Como componente principal del equipo epitaxial, elBandeja de grafito recubierta de SiC, afecta directamente la eficiencia de producción, la uniformidad y la tasa de defectos del crecimiento de la capa epitaxial.

A través de la purificación del grafito, el procesamiento de precisión y el tratamiento de limpieza, la superficie del sustrato de grafito puede lograr una planitud y suavidad excelentes, evitando con éxito el riesgo de contaminación por partículas. A través de la deposición química de vapor, la superficie del sustrato de grafito sufre una reacción química con el gas reactivo, generando un recubrimiento de carburo de silicio (SiC) denso, libre de poros y uniformemente grueso. Desde la preparación del sustrato hasta el tratamiento del recubrimiento, todo el proceso de producción se lleva a cabo en una sala blanca Clase 100, que cumple con los estándares de limpieza adecuados para semiconductores.

La bandeja de grafito recubierta de SiC, que está hecha de grafito de alta pureza y baja impureza y materiales de SiC, tiene una excelente conductividad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica. No solo permite que la bandeja de grafito recubierta de SiC transfiera calor de manera rápida y uniforme para mejorar la calidad de crecimiento de la capa epitaxial, sino que también reduce efectivamente el riesgo de que el recubrimiento se desprenda o se agriete debido al estrés térmico. Además, el recubrimiento de SiC uniforme y denso es resistente a altas temperaturas, oxidación y corrosión, lo que garantiza un funcionamiento estable durante mucho tiempo en condiciones de alta temperatura y gases corrosivos.

La bandeja de grafito recubierta de SiC tiene una mayor compatibilidad con equipos de deposición química de vapores organometálicos (MOCVD). Ha sido dimensionado y diseñado meticulosamente para adaptarse a diferentes parámetros de proceso y requisitos de equipo. Semicorex siempre insiste en ofrecer servicios profesionales personalizados a nuestros valiosos clientes para cumplir con precisión sus requisitos para diferentes tamaños, espesores de recubrimiento y rugosidad de la superficie de la bandeja de grafito recubierta de SiC.