Barcos de oblea de cerámica SiC

Seleccionar botes de obleas confiables y duraderos es crucial para garantizar la estabilidad del proceso y el rendimiento de las obleas durante condiciones operativas de alta temperatura y alta corrosión. semicorexCerámica de SiCLos botes de oblea son la opción ideal para estos fines al procesar sus múltiples ventajas, que incluyen alta integración, alta estabilidad, resistencia a altas temperaturas, resistencia al desgaste y larga vida útil.

Selecciones de materias primas de primera calidad.

El control de calidad de Semicorex sobreBarcos de oblea de cerámica SiCcomienza con su rigurosa selección de materias primas. Las obleas cerámicas Semicorex SiC están hechas de polvo de carburo de silicio de nivel semiconductor de alta pureza mediante sinterización a alta temperatura. Gracias a su materia prima de primera calidad, ofrecen el siguiente rendimiento excepcional.

1. Pureza ultraalta y baja contaminación de impurezas metálicas.

2. Estructura de material denso, que reduce la contaminación de las obleas causada por el desprendimiento de partículas.

3. Excelente resistencia a la corrosión contra plasma, ácidos fuertes y álcalis.

4. Alta dureza y resistencia mecánica, resistente al desgaste y a los arañazos.

5. Excelente estabilidad térmica, sin deformación ni fluencia a 1250°C.

6. Excelente resistencia al choque térmico, lo que reduce el estrés térmico debido a cambios rápidos de temperatura.

Diseño personalizado y bien pensado

Los botes de obleas de cerámica Semicorex SiC combinan bien con muchos fabricantes de equipos originales (OEM) de hornos líderes en la industria, como TEL, ASM y Kokusai Electric. Semicorex ofrece soluciones de ingeniería personalizadas para nuestros valiosos clientes, que admiten la personalización de las dimensiones de la oblea, el paso de la ranura, la profundidad de la ranura, el perfil de la ranura (en forma de V o U) y los ángulos correspondientes para permitir una compatibilidad perfecta con su equipo y requisitos de procesamiento.

Precisión de mecanizado de precisión

Con el respaldo de equipos de mecanizado avanzados y tecnologías de procesamiento maduras, Semicorex puede controlar estrictamente las dimensiones y tolerancias de sus obleas de cerámica SiC. Este control dimensional de alta precisión garantiza que las obleas semiconductoras estén colocadas firmemente durante el funcionamiento, lo que previene eficazmente el daño de las obleas resultante del deslizamiento o la inclinación. Después del mecanizado de precisión, las ranuras espaciadas uniformemente de los botes de obleas de cerámica de SiC pueden garantizar que cada oblea se caliente y reaccione de manera uniforme durante los procesos de oxidación, difusión y CVD, lo que contribuye en gran medida a mejorar la consistencia del proceso y el rendimiento del chip semiconductor.