Barco de oblea de silicio

Semicorex puede personalizar la estructura del barco de oblea de silicio, incluida la forma de la varilla de la ranura, la longitud de los dientes de la ranura, la forma, el ángulo de inclinación y la capacidad de carga total de la oblea, y se puede producir de acuerdo con los requisitos del cliente. Los barcos de silicio de alta temperatura pueden reducir eficazmente el daño por contacto de las obleas de silicio y mejorar el rendimiento del proceso. Su diseño de "torres antideslizantes" de alta temperatura soporta obleas sólo en la punta del diente de soporte. En comparación concarburo de silicio, el silicio tiene una dureza relativamente baja, lo que reduce el daño mecánico a las obleas, mejorando así la tasa de paso de la red y reduciendo efectivamente los costos de producción. El barco de silicio fundido se compone de varias partes: dientes, placa base y placa superior, que están fusionadas entre sí. Esto reduce los costos de producción. En caso de daño parcial, las piezas dañadas se pueden reemplazar sin reemplazar todo el barco de silicona, lo que reduce significativamente los costos de propiedad durante el uso. Además, el barco de silicio tiene un límite superior grande para la deposición de polisilicio, lo que puede reducir efectivamente la frecuencia de los equipos de PM y mejorar la capacidad de producción.

Semicorex Silicon Wafer Boat es un transportador de obleas innovador y diseñado específicamente. Está creado específicamente para el procesamiento en hornos de alta temperatura utilizados en la industria de semiconductores, incluidos los procesos de oxidación y reducción a temperaturas entre 1200 y 1250 °C. Con beneficios de rendimiento que no están disponibles en el material de carburo de silicio (SiC), Silicon Wafer Boat proporciona ventajas pertinentes para los rigurosos procesos que requiere la fabricación de semiconductores. En primer lugar, la pureza ultraalta del material de silicio es significativa; de hecho, elmaterial de siliconalogra niveles de pureza ultra alta de más de 9N (99,9999999%), lo que garantiza que ninguna impureza metálica o extraña contamine el procesamiento de obleas. Esto es crucial para la fabricación de dispositivos semiconductores de vanguardia, donde la confiabilidad y el rendimiento se ven muy afectados por la contaminación. El Silicon Wafer Boat proporciona un entorno ultralimpio con un alto nivel de pureza adecuado para los requisitos más avanzados de la industria para el manejo de obleas expuestas a temperaturas muy altas para el procesamiento de oxidación y reducción.

Otro beneficio de lamaterial de siliconaSemicorex Silicon Wafer Boat es un transportador de obleas innovador y diseñado específicamente. Está creado específicamente para el procesamiento en hornos de alta temperatura utilizados en la industria de semiconductores, incluidos los procesos de oxidación y reducción a temperaturas entre 1200 y 1250 °C. Con beneficios de rendimiento que no están disponibles en el material de carburo de silicio (SiC), Silicon Wafer Boat proporciona ventajas pertinentes para los rigurosos procesos que requiere la fabricación de semiconductores. En primer lugar, la pureza ultraalta del material de silicio es significativa; de hecho, el

El Silicon Wafer Boat alivia esta preocupación aprovechando el carácter relativamente blando del silicio en relación con el SiC. La reducción de la dureza permite una menor fricción y tensión mecánica cuando las obleas entran en contacto con la embarcación durante los ciclos térmicos. Como resultado, las partículas se generan con menos frecuencia y el riesgo de arañazos en la parte trasera se reduce a casi cero. Además, al minimizar los defectos superficiales, Silicon Wafer Boat mejora directamente la calidad de la red y aumenta la tasa de calificación general de las obleas procesadas. Para las fábricas de semiconductores que buscan mejorar el rendimiento con el máximo control de calidad, este estado de rendimiento hace que el barco de silicio sea una opción atractiva.

El silicio ofrece buena estabilidad y resistencia mecánica a altas temperaturas, lo que permite que el barco funcione de manera confiable durante ciclos repetidos del horno. El material resiste la deformación durante los ciclos de calentamiento y enfriamiento y, por lo tanto, mantiene una colocación precisa de la oblea y una tolerancia de posicionamiento incluso durante los ciclos rápidos del horno. Esta robustez térmica proporciona resultados de proceso confiables que son lo suficientemente consistentes para una producción de gran volumen con una variación mínima entre ejecuciones. El Silicon Wafer Boat está construido con alta precisión dimensional para garantizar un posicionamiento y colocación consistentes de la oblea. El barco se fabrica mediante mecanizado y pulido avanzados para crear superficies lisas, geometría estrecha y tolerancias estrictas.