Barco con pedestal de silicona

Semicorex Silicon Pedestal Boat es un portador de obleas ultralimpio que ha sido diseñado con alta pureza y precisión para soportar procesos semiconductores de alta temperatura como oxidación, difusión y LPCVD (deposición química de vapor a baja presión). Este portador de oblea está hecho de 9N (99,9999999%)silicio de alta purezapara garantizar una limpieza excepcional, un coeficiente térmico de estabilidad de expansión y precisión mecánica para el soporte de obleas y un control constante del proceso en entornos ultralimpios.

A medida que las geometrías de los dispositivos semiconductores continúan reduciéndose, la necesidad de componentes de manipulación de obleas ultralimpios y térmicamente compatibles nunca ha tenido tanta demanda. El Silicon Pedestal Boat aborda estas demandas con alta precisión dimensional y pureza inigualable para ser utilizado en sistemas de hornos avanzados que funcionan entre 1100°C y 1250°C.

La estructura del barco de silicio se puede personalizar para cumplir con los requisitos del cliente, incluida la forma de la barra de ranura, la longitud de los dientes de la ranura, la forma, el ángulo de inclinación y la capacidad de carga total de la oblea. Los barcos de silicio de alta temperatura pueden reducir eficazmente el daño por contacto de las obleas de silicio, mejorando el rendimiento del proceso. Su diseño de "torres antideslizantes" de alta temperatura soporta obleas sólo en la punta del diente de soporte. En comparación con el carburo de silicio, el silicio es relativamente menos duro, lo que reduce el daño mecánico a las obleas, mejorando así la calidad de la red y reduciendo efectivamente los costos de producción.

El barco con pedestal está disponible enSupport de cristaux de graines enduits de TaC, Chine, fabricants, fournisseurs, usine, personnalisé, en vrac, avancé, durablepara eliminar los riesgos de contaminación asociados con materiales sin silicio. La plataforma comparte la misma composición química que las obleas utilizadas activamente, lo que minimiza las reacciones no deseadas o la difusión de iones durante los procesos de alta temperatura. La homogeneidad del material reduce sustancialmente la identidad física de las partículas y las impurezas metálicas para lograr una alta calidad constante de las obleas y un alto rendimiento del dispositivo a través de ciclos de producción repetidos.

El barco con pedestal de silicio Semicorex presenta ranuras para obleas diseñadas con precisión, combinadas con estructuras de soporte verticales, lo que garantiza que las obleas permanezcan perfectamente alineadas y espaciadas durante el ciclo de calentamiento. Su estabilidad dimensional es excepcional, lo que garantiza que el barco con pedestal no se deforme, doble ni se mueva en temperaturas extremas, lo que proporciona una buena temperatura y distribución del gas sobre cada oblea. Esta estabilidad dimensional tiene un efecto positivo e inmediato sobre la uniformidad del espesor de la película durante la oxidación y la difusión y proporciona un menor número de defectos, así como una mejor repetibilidad del proceso.

El principal beneficio del barco con pedestal de silicio son sus propiedades mecánicas y térmicas optimizadas. La dureza del silicio en comparación con el SiC o el cuarzo ayudará a reducir la generación de microarañazos y partículas debido a la vibración o el movimiento de la oblea durante la expansión calentada. Esto es especialmente cierto en el caso de las obleas sensibles a la parte posterior, donde la integridad de la superficie de la oblea es fundamental para el rendimiento y el rendimiento del dispositivo.

El barco con pedestal tiene buena conductividad térmica y un bajo coeficiente de expansión térmica que proporciona características de transferencia de calor mientras mantiene la forma y la solidez estructural con múltiples ciclos de calentamiento y enfriamiento. El diseño robusto también proporciona una larga vida útil con una deformación mínima en condiciones extremas del horno.

Semicorex ofrece diseños personalizados para una variedad de configuraciones de equipos, incluido el diámetro de la oblea, el número de ranuras, la altura del pedestal y las variaciones de geometría. Cada producto se inspecciona para determinar su pureza, se miden sus dimensiones y se prueba la conductividad térmica, todo para cumplir con los más altos estándares en el proceso de fabricación de semiconductores.

El Silicon Pedestal Boat es compatible con procesos de oxidación y difusión, así como con LPCVD y aplicaciones de recocido que requieren una uniformidad de temperatura y control de contaminación sin igual. El Silicon Pedestal Boat es compatible con otros componentes del horno de silicio, como el tubo inyector, el tubo de revestimiento y el portador de obleas, manteniendo el material y la coincidencia térmica en todo el sistema de procesamiento.