Electrodos curvos de silicio

Durante el equipo de grabado avanzado, el electrodo curvo de silicio generalmente se monta en la parte superior de la cámara de grabado, mirando hacia la oblea semiconductora. El electrodo curvo de silicio normalmente funciona junto con el mandril electrostático, el anillo de enfoque de Si, el anillo de borde de Si, el anillo de escape de Si y el anillo de protección de Si para proporcionar condiciones operativas óptimas para el grabado de alta precisión.

Funciones de los electrodos curvos de silicio Semicorex.

1. Compatible con grabado de estructuras 3D complejas

Con una capacidad excepcional de control de campo eléctrico 3D, Semicorexelectrodos curvos de silicioPuede coincidir perfectamente con las características geométricas de estructuras complejas. El diseño curvo especial permite un control preciso del plasma y una distribución optimizada de la energía, lo que afecta significativamente la relación de aspecto y la verticalidad de las paredes laterales del grabado de estructuras 3D y cumple plenamente con los requisitos de la línea de producción de los procesos de embalaje avanzados y la integración de circuitos integrados 3D.

2. Control preciso de la distribución del gas de grabado

Los electrodos curvos de silicio Semicorex cuentan con múltiples microagujeros distribuidos uniformemente en su superficie para que el gas de grabado ingrese a la cámara de grabado. Los electrodos curvos de silicio Semicorex pueden lograr un control preciso del gas de grabado y permitir que se distribuya uniformemente en la cámara de grabado, minimizando así las variaciones del proceso causadas por una distribución no uniforme del gas.

Ventajas de los electrodos curvos de silicio Semicorex

1. Pureza ultraalta

Los electrodos curvos de silicio Semicorex están hechos de monocristal de ultra alta pureza.siliciocon un nivel de pureza superior al 99,9999999%, ofreciendo una resistencia superior a la erosión por plasma. Esta selección de materiales de alto estándar puede evitar eficazmente la contaminación no deseada resultante de los subproductos del grabado y, al mismo tiempo, extender significativamente la vida útil de los electrodos curvos de silicio.

2. Excelentes propiedades eléctricas

Fabricados a partir de silicio monocristalino cultivado en MCZ, los electrodos curvos de silicio Semicorex exhiben una excelente uniformidad de resistividad: <5% y un amplio rango de resistividad seleccionable: baja resolución. (<0,02), resolución media. (1–4) y alta resolución. (70–90).

3. Precisión de procesamiento de precisión

Mediante un procesamiento mecánico de alta precisión, los electrodos curvos de silicio Semicorex logran un tamaño de poro consistente y una distribución uniforme de los orificios. Sus superficies están finamente pulidas y rectificadas: pulidas (Ra < 0,1 μm) y rectificadas (Ra < 1,6 μm), con una precisión general de mecanizado controlada dentro de 0,03 mm.