El recubrimiento de SiC es una capa delgada sobre el susceptor a través del proceso de deposición química de vapor (CVD). El material de carburo de silicio proporciona una serie de ventajas sobre el silicio, incluyendo 10 veces la intensidad del campo eléctrico de ruptura, 3 veces la banda prohibida, lo que proporciona al material resistencia química y a altas temperaturas, excelente resistencia al desgaste y conductividad térmica.
Semicorex brinda un servicio personalizado, lo ayuda a innovar con componentes que duran más, reducen los tiempos de ciclo y mejoran el rendimiento.
El recubrimiento de SiC posee varias ventajas únicas
Resistencia a altas temperaturas: el susceptor recubierto de CVD SiC puede soportar altas temperaturas de hasta 1600 °C sin sufrir una degradación térmica significativa.
Resistencia química: el recubrimiento de carburo de silicio proporciona una excelente resistencia a una amplia gama de productos químicos, incluidos ácidos, álcalis y disolventes orgánicos.
Resistencia al desgaste: El recubrimiento de SiC proporciona al material una excelente resistencia al desgaste, lo que lo hace adecuado para aplicaciones que implican un alto desgaste.
Conductividad térmica: el recubrimiento CVD SiC proporciona al material una alta conductividad térmica, lo que lo hace adecuado para su uso en aplicaciones de alta temperatura que requieren una transferencia de calor eficiente.
Alta resistencia y rigidez: el susceptor recubierto de carburo de silicio proporciona al material alta resistencia y rigidez, lo que lo hace adecuado para aplicaciones que requieren alta resistencia mecánica.
El recubrimiento de SiC se utiliza en diversas aplicaciones.
Fabricación de LED: El susceptor recubierto de CVD SiC se utiliza en la fabricación de varios tipos de LED, incluidos LED azules y verdes, LED UV y LED UV profundo, debido a su alta conductividad térmica y resistencia química.
Comunicación móvil: el susceptor recubierto de SiC CVD es una parte crucial del HEMT para completar el proceso epitaxial de GaN-on-SiC.
Procesamiento de semiconductores: el susceptor recubierto de SiC CVD se utiliza en la industria de semiconductores para diversas aplicaciones, incluido el procesamiento de obleas y el crecimiento epitaxial.
Componentes de grafito recubiertos de SiC
Fabricado con grafito con revestimiento de carburo de silicio (SiC), el revestimiento se aplica mediante un método CVD a grados específicos de grafito de alta densidad, por lo que puede funcionar en hornos de alta temperatura a más de 3000 °C en una atmósfera inerte y 2200 °C en vacío. .
Las propiedades especiales y la baja masa del material permiten velocidades de calentamiento rápidas, distribución uniforme de la temperatura y una precisión de control excepcional.
Datos del material del recubrimiento Semicorex SiC
Propiedades típicas |
Unidades |
Valores |
Estructura |
|
Fase β de la FCC |
Orientación |
Fracción (%) |
111 preferido |
densidad aparente |
gramos/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Capacidad calorífica |
J kg-1 K-1 |
640 |
Expansión térmica 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃) |
430 |
Tamaño de grano |
µm |
2~10 |
Temperatura de sublimación |
℃ |
2700 |
Fuerza flexural |
MPa (RT 4 puntos) |
415 |
Conductividad térmica |
(W/mK) |
300 |
Conclusión El susceptor recubierto de SiC CVD es un material compuesto que combina las propiedades de un susceptor y del carburo de silicio. Este material posee propiedades únicas, que incluyen resistencia química y a altas temperaturas, excelente resistencia al desgaste, alta conductividad térmica y alta resistencia y rigidez. Estas propiedades lo convierten en un material atractivo para diversas aplicaciones de alta temperatura, incluido el procesamiento de semiconductores, el procesamiento químico, el tratamiento térmico, la fabricación de células solares y la fabricación de LED.
Semicorex Support Crucible es un componente fundamental dentro del intrincado proceso de crecimiento del cristal de silicio solar, y sirve como base firme para la transformación de materias primas en lingotes de silicio de alta calidad destinados a aplicaciones fotovoltaicas. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaSemicorex Barrel Susceptor con revestimiento de SiC es una solución de vanguardia diseñada para elevar la eficiencia y precisión de los procesos epitaxiales de silicio. Elaborado con meticulosa atención al detalle, este susceptor de barril con revestimiento de SiC está diseñado para cumplir con los exigentes requisitos de la fabricación de semiconductores, sirviendo como soporte óptimo para obleas y facilitando la transferencia perfecta de calor a las obleas. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaSemicorex SiC Barrel For Silicon Epitaxy está diseñado para cumplir con los exigentes requisitos de los materiales aplicados y las unidades LPE. Elaborado con precisión e innovación, este susceptor en forma de barril está fabricado con grafito recubierto de SiC de alta calidad, lo que garantiza un rendimiento y una durabilidad excepcionales en aplicaciones de epitaxia de silicio. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaEl susceptor de grafito Semicorex con revestimiento de SiC es un componente esencial diseñado para procesos de epitaxia de silicio en materiales aplicados y unidades LPE (epitaxia en fase líquida). Fabricado con material de grafito de alta calidad recubierto con carburo de silicio (SiC), este susceptor garantiza un rendimiento y una longevidad superiores en entornos de fabricación de semiconductores. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaLos repuestos Semicorex en crecimiento epitaxial son componentes cruciales utilizados dentro de los sistemas de crecimiento epitaxial, particularmente en procesos que involucran configuraciones de tubos de cuarzo. Estas piezas desempeñan un papel vital a la hora de facilitar el flujo de gas para impulsar la rotación de la base de la bandeja y garantizar un control preciso de la temperatura durante todo el proceso de crecimiento epitaxial. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar ConsultaEl susceptor de barril recubierto de SiC CVD Semicorex es un componente meticulosamente diseñado diseñado para procesos avanzados de fabricación de semiconductores, particularmente epitaxia. Nuestros productos tienen una buena ventaja de precio y cubren la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
Leer másEnviar Consulta