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La cerámica de carburo de silicio (SiC) es un material cerámico avanzado que contiene silicio y carbono. Los granos de carburo de silicio se pueden unir mediante sinterización para formar cerámicas muy duras. Semicorex suministra cerámicas de carburo de silicio personalizadas según sus necesidades.


Aplicaciones

En las cerámicas de carburo de silicio, las propiedades del material se mantienen constantes hasta temperaturas superiores a 1.400 °C. El alto módulo de Young > 400 GPa garantiza una excelente estabilidad dimensional.


A typical application for silicon carbide components is dynamic sealing technology using friction bearings and mechanical seals, for instance in pumps and drive systems.

● Manga del eje →

● Buje →

● Sello mecánico →


Con propiedades avanzadas, las cerámicas de carburo de silicio también son ideales para su uso en la industria de semiconductores.

● Portador de oblea →

● Barco de oblea →


Barcos de oblea
Semicorex Wafer Boat está hecho de cerámica de carburo de silicio sinterizado, que tiene buena resistencia a la corrosión y excelente resistencia a las altas temperaturas y al choque térmico. Las cerámicas avanzadas ofrecen una excelente resistencia térmica y durabilidad del plasma al mismo tiempo que mitigan las partículas y los contaminantes para los portadores de obleas de alta capacidad.


Carburo de silicio sinterizado de reacción

En comparación con otros procesos de sinterización, el cambio de tamaño de la sinterización reactiva durante el proceso de densificación es pequeño y se pueden producir productos con dimensiones precisas. Sin embargo, la presencia de una gran cantidad de SiC en el cuerpo sinterizado empeora el rendimiento a altas temperaturas de las cerámicas de SiC sinterizadas por reacción.

Carburo de silicio sinterizado sin presión

El carburo de silicio sinterizado (SSiC) sin presión es una cerámica de alto rendimiento especialmente ligera y al mismo tiempo dura. El SSiC se caracteriza por su alta resistencia, que se mantiene casi constante incluso a temperaturas extremas.

Carburo de silicio recristalino

El carburo de silicio recristalizado (RSiC) son materiales de próxima generación que se forman mezclando polvo grueso de carburo de silicio de alta pureza y polvo fino de carburo de silicio de alta actividad y, después de la lechada, sinterización al vacío a 2450 ° C para recristalizar.




Carburo de silicio sinterizado de reacción

Carburo de silicio sinterizado sin presión

Carburo de silicio recristalizado

Propiedades tipicas

Unidades

Valores



Densidad a Granel

g/cm3

3

3,15 ± 0,03

2,60-2,70

Fuerza flexible

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)
90-100(1400°C)

Fuerza compresiva

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

Dureza

Botón

2700

2800

/

Rompiendo la tenacidad

MPa·m1/2

4.5

4

/

Conductividad térmica

W/m.k

95

120

23

Coeficiente de expansión termal

10-60,1/°C

5

4

4.7

Calor especifico

Julios/g 0k

0.8

0.67

/

Temperatura máxima en el aire

1200

1500

1600

Modulos elasticos

gpa

360

410

240

Fuerza flexible

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C)
90-100(1400°C)






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Manga de eje de cerámica

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Semicorex proporciona cerámica de grado semiconductor para sus herramientas de semifabricación OEM y componentes de manejo de obleas. Hemos sido fabricantes y proveedores de película de revestimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestra camisa de eje de cerámica tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Casquillo del eje SiC

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