Brazos robóticos de alúmina

Los brazos robóticos de alúmina Semicorex generalmente se instalan en los robots de manipulación de obleas y sirven como sistema de transferencia de obleas.efector finalque funciona como la transferencia segura y precisa de obleas semiconductoras a las posiciones requeridas. A través de sus orificios de aire internos y canales de gas, los brazos robóticos de alúmina pueden generar una presión negativa constante para adsorber firmemente las obleas semiconductoras. Este método de adsorción logra un contacto suave con la superficie de la oblea, lo que previene eficazmente rayones superficiales no deseados y daños mecánicos, garantizando así una protección integral para las obleas semiconductoras.

Ventajas de los brazos robóticos de alúmina

Semicorex implementa un estricto control de calidad para sus productos a partir de la selección de materias primas.

Sus brazos robóticos de alúmina están fabricados con precisión a partir de alta pureza.alúminapolvo de granulación, que exhibe excelentes propiedades de la siguiente manera.

1. Limpieza ultraalta

Los brazos robóticos de alúmina Semicorex presentan una alta pureza del material y una microestructura densa, lo que les permite evitar la liberación de iones metálicos y el desprendimiento de micropartículas durante la operación, cumpliendo así plenamente con los estrictos requisitos de limpieza de la fabricación de semiconductores.

2. Alto rendimiento de aislamiento eléctrico

Gracias a su alto rendimiento de aislamiento eléctrico, los brazos robóticos de alúmina Semicorex son capaces de minimizar la generación de carga durante su funcionamiento. Este rendimiento confiable puede evitar eficazmente las cargas no deseadas transferidas por los brazos robóticos de alúmina a los componentes semiconductores y reducir el riesgo de daños a los componentes semiconductores sensibles.

3. Desempeño de costos favorable

Diferente deBrazos robóticos de SiC, los brazos robóticos de alúmina ofrecen un precio económico y mantienen un rendimiento estable. Los brazos robóticos de alúmina Semicorex ofrecen una excelente resistencia mecánica, resistencia al desgaste, resistencia al calor y resistencia a la corrosión, lo que los hace funcionar de manera constante bajo cargas pesadas, operaciones de alta frecuencia, altas temperaturas y condiciones de trabajo altamente corrosivas durante mucho tiempo. Esta durabilidad superior extiende efectivamente la vida útil de los brazos robóticos de alúmina, reduciendo la eficiencia y el costo de reemplazo de componentes.

Aplicaciones de los brazos robóticos de alúmina Semicorex

Los brazos robóticos de alúmina Semicorex se aplican ampliamente en la fase inicial de los procedimientos de fabricación de semiconductores, incluidos el grabado, la deposición de películas delgadas, la implantación de iones y los procesos CMP. Pueden soportar, transferir y posicionar de manera estable, segura y precisa obleas y componentes semiconductores en varias cámaras y equipos de proceso en condiciones operativas de vacío y alta limpieza.