Anillos ranurados Poly-Si

Los anillos ranurados de Poly-Si se instalan comúnmente en la cámara de reacción de equipos avanzados de grabado de semiconductores. Operan sinérgicamente con piezas de silicio, incluido el silicio.anillos de enfoque, anillos exteriores de silicona y siliconacabezales de ducha. Estas piezas pueden crear un entorno de reacción estable y óptimo para el proceso de grabado, asegurando una excelente calidad.aguafuerteprecisión y consistencia del proceso.

Funciones de los anillos ranurados Semicorex poli-Si

1. Los anillos ranurados de poli-Si Semicorex están equipados con múltiples ranuras distribuidas uniformemente que sirven como conductos de gas, lo que permite un escape suave de los gases del proceso después de la reacción.

2. Los anillos ranurados de poli-Si Semicorex pueden lograr un excelente control del plasma y ofrecen una protección confiable para la cámara de reacción de los equipos de grabado de semiconductores.

3. Los anillos ranurados de poli-Si Semicorex pueden ayudar a ajustar el campo eléctrico y la presión de la cámara, evitando así que la inestabilidad afecte la consistencia del proceso de grabado.

Selección de materiales de alto nivel

Los anillos ranurados de poli-Si Semicorex se fabrican con silicio policristalino de alta calidad con un nivel de pureza superior al 99,9999 %, lo que les confiere las siguientes propiedades superiores.

1. Pureza ultraalta y contenido de impurezas extremadamente bajo.

2. Excepcional resistencia a la corrosión por plasma.

3. Propiedades eléctricas favorables, con uniformidad de resistencia: RRG ≤ 5%, baja resolución. (<0,02), resolución media. (1–4) y alta resolución. (70–90).

Capacidades de fabricación y control de calidad.

Equipado con equipos de mecanizado avanzados y un equipo técnico experimentado, Semicorex controla estrictamente cada proceso de producción y ofrece anillos ranurados de poli-Si de alta calidad y bien combinados a nuestros valiosos clientes. Además, Semicorex lleva a cabo un control estricto sobre la medición dimensional, las pruebas de resistividad y la inspección visual de los anillos ranurados de poli-Si terminados para garantizar que estén libres de defectos como astillas, rayones, grietas y manchas.