Aletas de carburo de silicio sólido

Semicorex sólidoaletas de carburo de silicioPor lo general, se instalan como componentes de aislamiento térmico dentro de tubos de hornos verticales de equipos de tratamiento térmico de semiconductores, como hornos de recocido RTP y hornos de difusión. Las aletas de carburo de silicio sólido Semicorex pueden regular eficazmente la distribución de temperatura en hornos de alta temperatura y minimizar el daño por calor en las piezas de sellado de puertas de proceso causado por las altas temperaturas. En condiciones operativas de oxidación húmeda, las aletas de carburo de silicio sólido Semicorex se pueden utilizar para prevenir eficazmente los impactos negativos en los resultados del proceso y los dispositivos semiconductores causados ​​por la condensación del vapor de agua a temperaturas de proceso relativamente bajas.

Las ventajas de las aletas de carburo de silicio sólido Semicorex

1. Excelente resistencia al desgaste

CVD SiC presenta una estructura cristalina cúbica policristalina, con una dureza excepcional, solo superada por el diamante. A esta propiedad se atribuye la excelente resistencia al desgaste de las aletas de carburo de silicio sólido Semicorex, lo que las hace resistentes a la abrasión durante la manipulación y el reemplazo.

2. Capacidad superior de gestión térmica

CVD SiC ofrece una excelente resistencia térmica y estabilidad a altas temperaturas, que no se derrite ni se ablanda a temperaturas de hasta aproximadamente 2000 °C y mantiene su estabilidad antes de la sublimación a temperaturas ultraaltas. Gracias a estas características térmicas superiores, las aletas de carburo de silicio sólido Semicorex son muy adecuadas para las difíciles condiciones de procesamiento del tratamiento térmico de semiconductores.

3. Limpieza ultraalta

CVD-SiCse produce sin aditivos de sinterización durante el proceso de deposición. En comparación con el carburo de silicio convencional unido por reacción, presenta una pureza mucho mayor, alcanzando más del 99,9995%. Esto previene eficazmente la contaminación por impurezas metálicas de las aletas de carburo de silicio sólido de Semicorex causada por las altas temperaturas en entornos de proceso, cumpliendo perfectamente con los requisitos de limpieza de la fabricación avanzada de semiconductores.

4. Resistencia a la corrosión confiable

Las aletas de carburo de silicio sólido Semicorex pueden soportar gases de proceso altamente oxidantes y fuertemente ácidos empleados en procesos de tratamiento térmico de semiconductores, debido a la excepcional inercia química del CVD SiC a altas temperaturas. Esta confiable resistencia a la corrosión prolonga efectivamente su vida útil, reduciendo los costos de reemplazo de componentes.

5. Precisión de mecanizado precisa

Para garantizar la compatibilidad con diferentes tubos de hornos, Semicorex puede personalizar las aletas de carburo de silicio sólido según los requisitos del cliente en cuanto a diámetro, espesor, tamaño del orificio, planitud y tolerancias dimensionales. Esta precisión de mecanizado de alto estándar garantiza un funcionamiento estable de las aletas del equipo y ayuda a optimizar la eficiencia general de las aplicaciones de tratamiento térmico de semiconductores.