Susceptor Epi de silicio monocristalino

El episusceptor de silicio monocristalino es un componente esencial diseñado para los procesos de epitaxia de Si-GaN, que se puede adaptar a especificaciones y preferencias individualizadas, proporcionando una solución personalizada que se alinea perfectamente con requisitos específicos. Ya sea que implique modificaciones en las dimensiones o ajustes en el espesor del recubrimiento, poseemos la capacidad de diseñar y entregar un producto que se adapta a diversos parámetros del proceso, optimizando así el rendimiento para aplicaciones específicas. El compromiso de Semicorex con una calidad líder en el mercado, junto con consideraciones fiscales competitivas, consolida nuestro entusiasmo por establecer asociaciones para cumplir con sus requisitos de transporte de obleas semiconductoras.

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Descripción del Producto

Los susceptores en el procesamiento del crecimiento epitaxial requieren la capacidad de soportar temperaturas elevadas y soportar rigurosos procedimientos de limpieza química. El episusceptor de silicio monocristalino ha sido diseñado meticulosamente para satisfacer específicamente estas demandas exigentes que se encuentran en las aplicaciones de equipos de epitaxia.

Estos susceptores cuentan con una construcción que comprende grafito recubierto de carburo de silicio (SiC) de alta pureza, que imparte una resistencia al calor incomparable, lo que garantiza una distribución térmica uniforme para un espesor y una resistencia constantes de la capa de epitaxia.

Además, el episusceptor de silicio monocristalino exhibe una durabilidad notable frente a agentes de limpieza químicos agresivos. La utilización de un fino recubrimiento de cristal de SiC contribuye aún más a obtener una superficie impecable y lisa, lo cual es de suma importancia para una manipulación eficaz, ya que las obleas inmaculadas entran en contacto con el susceptor en numerosos puntos de toda su superficie.

La utilización del episusceptor de silicio monocristalino garantiza una confiabilidad inquebrantable y una vida útil prolongada, lo que mitiga la necesidad de reemplazos frecuentes y, posteriormente, minimiza el tiempo de inactividad y los gastos de mantenimiento. Su construcción robusta y sus capacidades operativas excepcionales contribuyen significativamente a una mayor eficiencia del proceso, lo que en última instancia refuerza la productividad y la rentabilidad dentro del ámbito de las operaciones de fabricación de semiconductores.