Placa de grabado de silicona para aplicaciones de grabado PSS

La placa de grabado de silicio de Semicorex para aplicaciones de grabado PSS es un soporte de grafito ultrapuro de alta calidad diseñado específicamente para procesos de crecimiento epitaxial y manipulación de obleas. Nuestro transportista puede soportar ambientes hostiles, altas temperaturas y limpieza química agresiva. La placa de grabado de silicio para aplicaciones de grabado PSS tiene excelentes propiedades de distribución del calor, alta conductividad térmica y es rentable. Nuestros productos se utilizan ampliamente en muchos mercados europeos y americanos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

Enviar Consulta

Descripción del Producto

La placa de grabado de silicio de Semicorex para aplicaciones de grabado PSS está diseñada para las aplicaciones de equipos de epitaxia más exigentes. Nuestro soporte de grafito ultrapuro puede soportar entornos hostiles, altas temperaturas y limpiezas químicas agresivas. El soporte recubierto de SiC tiene excelentes propiedades de distribución del calor, alta conductividad térmica y es rentable.

Parámetros de la placa de grabado de silicona para aplicaciones de grabado PSS

Especificaciones principales del recubrimiento CVD-SIC
Propiedades de SiC-CVD
Estructura cristalina	Fase β de la FCC
Densidad	gramos/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamaño de grano	µm	2~10
Pureza química	%	99.99995
Capacidad calorífica	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimación	℃	2700
Fuerza flexural	MPa (RT 4 puntos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃)	430
Expansión Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conductividad térmica	(W/mK)	300

Características de la placa de grabado de silicona para aplicaciones de grabado PSS

- Evite que se despegue y garantice el recubrimiento en toda la superficie.

Resistencia a la oxidación a altas temperaturas: estable a altas temperaturas de hasta 1600 °C

Alta pureza: elaborado mediante deposición química de vapor CVD en condiciones de cloración a alta temperatura.

Resistencia a la corrosión: alta dureza, superficie densa y partículas finas.

Resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sal y reactivos orgánicos.

- Lograr el mejor patrón de flujo de gas laminar

- Garantizar la uniformidad del perfil térmico.

- Prevenir cualquier contaminación o difusión de impurezas.

Etiquetas calientes: Placa de grabado de silicio para aplicaciones de grabado PSS, China, fabricantes, proveedores, fábrica, personalizada, a granel, avanzada y duradera

Etiqueta del producto

Categoría relacionada