La cerámica de carburo de silicio (SiC) es un material cerámico avanzado que contiene silicio y carbono. Los granos de carburo de silicio se pueden unir mediante sinterización para formar cerámicas muy duras. Semicorex suministra cerámicas de carburo de silicio personalizadas según sus necesidades.
Aplicaciones
En las cerámicas de carburo de silicio, las propiedades del material se mantienen constantes hasta temperaturas superiores a 1.400°C. El alto módulo de Young > 400 GPa garantiza una excelente estabilidad dimensional.
Una aplicación típica de los componentes de carburo de silicio es la tecnología de sellado dinámico que utiliza cojinetes de fricción y sellos mecánicos, por ejemplo en bombas y sistemas de accionamiento.
Con propiedades avanzadas, las cerámicas de carburo de silicio también son ideales para su uso en la industria de semiconductores.
Barcos de oblea →
Semicorex Wafer Boat está hecho de cerámica de carburo de silicio sinterizado, que tiene buena resistencia a la corrosión y excelente resistencia a las altas temperaturas y al choque térmico. Las cerámicas avanzadas ofrecen una excelente resistencia térmica y durabilidad del plasma al mismo tiempo que mitigan las partículas y los contaminantes para los portadores de obleas de alta capacidad.
Carburo de silicio sinterizado de reacción
En comparación con otros procesos de sinterización, el cambio de tamaño de la sinterización reactiva durante el proceso de densificación es pequeño y se pueden producir productos con dimensiones precisas. Sin embargo, la presencia de una gran cantidad de SiC en el cuerpo sinterizado empeora el rendimiento a altas temperaturas de las cerámicas de SiC sinterizadas por reacción.
Carburo de silicio sinterizado sin presión
El carburo de silicio sinterizado (SSiC) sin presión es una cerámica de alto rendimiento especialmente ligera y al mismo tiempo dura. El SSiC se caracteriza por su alta resistencia, que se mantiene casi constante incluso a temperaturas extremas.
Carburo de silicio recristalino
El carburo de silicio recristalizado (RSiC) son materiales de próxima generación que se forman mezclando polvo grueso de carburo de silicio de alta pureza y polvo fino de carburo de silicio de alta actividad y, después de la lechada, sinterización al vacío a 2450 ° C para recristalizar.
Elaborado a partir de un carburo de silicio de pureza excepcional, el barco Semicorex SiC para manipulación de obleas cuenta con una construcción que incluye ranuras de precisión para asegurar las obleas, mitigando cualquier movimiento durante los procedimientos operativos. La elección del carburo de silicio como material garantiza no sólo dureza y resistencia, sino también la capacidad de soportar temperaturas elevadas y exposición a productos químicos. Esto convierte al SiC Boat for Wafer Handling en un componente fundamental en multitud de etapas de producción de semiconductores, como el cultivo de cristales, la difusión, la implantación de iones y los procesos de grabado.
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