Módulo epitaxial sic

El módulo epitaxial de semicorex sic, elaborado con grafito recubierto de grados premium, es parte del equipo epitaxial que se desarrolla para resistir los elementos más difíciles de los procesos de epitaxia de carburo de silicio (SIC). Este módulo, destinado a alta temperatura en aplicaciones de deposición de vapor químico (CVD), es un componente importante para demostrar la estabilidad y el soporte para las obleas durante el crecimiento epitaxial de SIC de alta calidad. El módulo SEC SEMICOREX es un material base efectivo para una producción confiable y repetible de material epitaxial consistente con las especificaciones SIC de calidad.

El módulo SEC semicorex es un sustrato de grafito cubierto con una capa densa y uniforme de placas de carburo de silicio y es resistente a la contaminación y la corrosión de las partículas incluso en las quimistrías de procesos más severas. El recubrimiento SIC prohíbe la contaminación y la erosión del grafito subyacente y proporciona un soporte y protección mecánicos sustanciales de hasta 1600 ° C. El módulo SIC combina la resistencia y la maquinabilidad del grafito con el desgaste general, la corrosión y las propiedades resistentes a los químicos del carburo de silicio, lo que lo convierte en el mejor módulo en términos de durabilidad en una atmósfera epitaxial severa.

El módulo está diseñado para proporcionar un perfil térmico uniforme mientras minimiza el cambio dimensional en todo el proceso de ciclo térmico. Esta uniformidad y estabilidad térmica son esenciales para mantener la planitud de la oblea y la uniformidad de la epitaxia. Si la oblea mantiene una posición estable con alta conductividad térmica, entonces las condiciones térmicas a través de la oblea durante el procesamiento serán uniformes, lo que afecta positivamente el rendimiento, la calidad del cristal y el tiempo de inactividad relacionados con la falla o la contaminación por parte.

El módulo epitaxial SIC es compatible con varios reactores epitaxiales, incluidos la pared caliente y la pared fría y tiene la opción de personalizarse para dar forma y dimensiones para acomodar diseños de reactores específicos y necesidades del cliente. El módulo epitaxial SIC está bien adecuado para aplicaciones de epitaxia SIC de 8 pulgadas y de 8 pulgadas emergentes de 4 pulgadas y emergentes. Debido a la alta pureza y la geometría optimizada del módulo epitaxial SIC, la interferencia física se minimiza en su impacto en la dinámica del flujo de gas y los gradientes térmicos que admiten un crecimiento más controlado de la capa epitaxial.

Los módulos epitaxiales SIC de Semicorex representan la pieza controlada de la más alta calidad en el ensamblaje excéntrico. Además de los protocolos de control de alta calidad, Semicorex utiliza los últimos métodos de recubrimiento para aplicar películas SIC uniformes, densas y bajas. Semicorex tiene una larga historia de recubrimientos de cerámica de alto rendimiento y beneficios del proceso de identificación de mecanizado de grafito que proporcionan la mejor vida, consistencia y estabilidad del proceso de lote a lote.

En el campo de rápida evolución de los dispositivos de potencia SIC, donde la calidad del material afecta directamente el rendimiento del dispositivo, el módulo epitaxial no es solo un consumible, es un habilitador crítico. El módulo epitaxial de grafito recubierto de SIC de Semicorex ofrece una solución robusta y confiable para los clientes que buscan superar los límites de eficiencia, rendimiento y rentabilidad en la epitaxia SIC.