Los anillos sólidos CVD SiC de Semicorex son componentes en forma de anillo de alto rendimiento que se utilizan principalmente en las cámaras de reacción de equipos de grabado por plasma en la industria de semiconductores avanzada. Los anillos sólidos CVD SiC de Semicorex se someten a una estricta selección de materiales y control de calidad, lo que ofrece una pureza de material incomparable, una resistencia excepcional a la corrosión por plasma y un rendimiento operativo constante.
Los sellos Semicorex SiC son componentes de cara mecánica de alto rendimiento diseñados para proporcionar resistencia al desgaste, estabilidad térmica e inercia química universal superiores en los entornos de equipos giratorios más exigentes. Semicorex es un proveedor profesional de materiales cerámicos de SiC, que puede suministrar productos de alta precisión para clientes globales.*
Semicorex SiC Pedestal es un componente de hardware multifuncional de alta precisión diseñado para proporcionar la estabilidad térmica y la intrincada distribución de fluidos necesarias para los sistemas avanzados de reacción de microcanales. Semicorex se especializa en la ingeniería y el suministro de estos pedestales de SiC de alta pureza según las necesidades de los clientes.*
Las plantillas de grafito recubiertas de SiC de Semicorex son los componentes esenciales de grafito cubiertos con una capa de SiC densa y uniforme. Combinadas con excelentes propiedades del grafito y del carburo de silicio, las plantillas de grafito recubiertas de SiC de Semicorex funcionan de manera confiable en condiciones complejas de prueba y empaque de semiconductores.
El mandril de vacío de cerámica Semicorex SiC está fabricado con carburo de silicio denso sinterizado (SSiC) de alta pureza y es la solución definitiva para el manejo y adelgazamiento de obleas de alta precisión, proporcionando rigidez, estabilidad térmica y planitud submicrónica incomparables. Semicorex está interesado en ofrecer productos rentables y de alta calidad para clientes de todo el mundo.*
Los tubos de horno Semicorex CVD recubiertos de SiC son componentes tubulares de alta gama fabricados específicamente para el procesamiento de semiconductores a alta temperatura, como oxidación, difusión y recocido de obleas semiconductoras. Aprovechando las tecnologías de procesamiento avanzadas y la experiencia de fabricación madura, Semicorex se compromete a suministrar tubos de horno recubiertos de SiC CVD mecanizados con precisión con una calidad líder en el mercado para nuestros valiosos clientes.
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